ULVAC愛(ài)發(fā)科 油旋片真空泵 應(yīng)用

什么是油旋片真空泵,？

油旋轉(zhuǎn)真空泵是指通過(guò)油來(lái)減少轉(zhuǎn)子、定子,、滑動(dòng)葉片等部件之間的機(jī)密和無(wú)效空間的容積移送型真空泵。

油旋片真空泵的特點(diǎn)

　油旋片真空泵使用真空泵油使旋轉(zhuǎn)部件的運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn),，并使用真空密封來(lái)提高氣密性,，從而實(shí)現(xiàn)高排氣性能。此外,，它是效率高的泵類型,，可以在大氣壓至高真空范圍內(nèi)有效運(yùn)行，并且是一種可提供穩(wěn)定泵送性能的高可靠性泵,。

【優(yōu)點(diǎn)】?jī)r(jià)格便宜,、結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便,、容易獲得10Pa以下的真空,。

[缺點(diǎn)] 真空泵油的處理比較復(fù)雜。

油旋轉(zhuǎn)真空泵的工作原理

　油旋片真空泵大致分為三種類型,。

1）旋轉(zhuǎn)翼型油旋轉(zhuǎn)真空泵

該泵裝有兩個(gè)葉片,，安裝在汽缸內(nèi)側(cè)的轉(zhuǎn)子上,。該葉片將氣缸內(nèi)分成三個(gè)空間。被分割的空間的氣體隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)被壓縮,，并以周期性變化的方式通過(guò)排氣閥排放到大氣中,。油起到潤(rùn)滑軸承部、冷卻,、提高葉片和氣缸氣密性的密封作用,。

2）凸輪式油回轉(zhuǎn)真空泵

　偏心轉(zhuǎn)子安裝在圓柱形定子的中心，轉(zhuǎn)子的一部分與定子接觸并旋轉(zhuǎn),。進(jìn)氣側(cè)和排氣側(cè)均安裝有可上下移動(dòng)的葉片作為密封件,。在轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一圈的過(guò)程中，定子和轉(zhuǎn)子之間的間隙被抽空以產(chǎn)生真空,。

3）擺動(dòng)活塞式油回轉(zhuǎn)真空泵

　沿導(dǎo)向段滑動(dòng)的活塞因偏心轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而上下擺動(dòng),，改變活塞與氣缸所圍成的空間的容積，從而輸送氣體,。

油旋片真空泵的主要用途

食品,、卡盤(pán)、真空爐,、泄漏系統(tǒng),、浸漬裝置、激光,、涂層,、化學(xué)、醫(yī)療,、中央真空系統(tǒng)等

應(yīng)用行業(yè)：

制造業(yè),、半導(dǎo)體與集成電路行業(yè)、醫(yī)療器械,、航空航天與國(guó)防,、食品與藥品行業(yè)、化學(xué)與精細(xì)化工行業(yè),、真空鍍膜與表面處理,、科研與實(shí)驗(yàn)室、紡織與印刷,、能源行業(yè)等,。

制造業(yè)

在制造業(yè)中，油式旋片真空泵常用于工業(yè)氣體處理,、氣瓶搬運(yùn)與真空干燥,，確保生產(chǎn)環(huán)境的清潔和安全，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量?,。

半導(dǎo)體與集成電路行業(yè)

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,，油式旋片真空泵被廣泛應(yīng)用于晶圓清洗,、光刻、刻蝕,、薄膜沉積等多個(gè)關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié),，提供高純度的真空環(huán)境，確保半導(dǎo)體器件的性能穩(wěn)定和質(zhì)量?,。

醫(yī)療器械

在醫(yī)療行業(yè)中,，油式旋片真空泵用于醫(yī)療設(shè)備如血壓計(jì)、血液分析器,、醫(yī)用滅菌器,、呼吸機(jī)等，為其提供高質(zhì)量的真空環(huán)境,，提高設(shè)備的性能和精度?,。

食品與藥品行業(yè)

在食品和藥品的干燥過(guò)程中，油式旋片真空泵通過(guò)降低物料周圍的氣壓,，使物料中的水分在較低溫度下迅速蒸發(fā),，從而保留物料的營(yíng)養(yǎng)成分和活性物質(zhì)，提高干燥效率和質(zhì)量,。此外,，它還用于食品加工、包裝和儲(chǔ)存過(guò)程中的真空處理,，以延長(zhǎng)產(chǎn)品的保質(zhì)期?,。

化學(xué)與精細(xì)化工行業(yè)

在化學(xué)工業(yè)中，油式旋片真空泵用于化學(xué)反應(yīng),、混合,、蒸餾等過(guò)程，實(shí)現(xiàn)真空環(huán)境和氣體輸送,。在精細(xì)化工中,，它也被用于真空過(guò)濾、真空蒸發(fā),、真空精餾等領(lǐng)域?。

真空鍍膜與表面處理

在真空鍍膜領(lǐng)域,，油式旋片真空泵是構(gòu)建真空鍍膜室的重要設(shè)備之一,，能夠快速抽除鍍膜室內(nèi)的空氣和其他雜質(zhì)氣體，為鍍膜過(guò)程創(chuàng)造理想的真空環(huán)境?,。

科研與實(shí)驗(yàn)室

在科研和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中,，油式旋片真空泵因其操作簡(jiǎn)便、性能穩(wěn)定而備受青睞,，能夠滿足各種科學(xué)實(shí)驗(yàn)對(duì)真空度的不同需求?,。

航空航天與國(guó)防

在航空航天領(lǐng)域,，油式旋片真空泵用于模擬太空環(huán)境、測(cè)試航天器部件以及支持空間科學(xué)實(shí)驗(yàn)等,，其高可靠性和長(zhǎng)壽命特點(diǎn)使其成為航天器上真空系統(tǒng)的理想選擇?,。

其他行業(yè)

在紡織和印刷行業(yè)中，油式旋片真空泵用于真空包裝,、真空吸盤(pán)搬運(yùn)等,。

在能源行業(yè)，如太陽(yáng)能光伏板的制造過(guò)程中,，油式旋片真空泵也用于相關(guān)工藝步驟,。?

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