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大塚電子株式會(huì)社主要經(jīng)營(yíng)范圍:光電技術(shù)的研發(fā),，光電系統(tǒng)集成產(chǎn)品,、工業(yè)測(cè)定和分析設(shè)備,、儀器儀表及相關(guān)零部件的批發(fā)、進(jìn)出口等,。大豕為人類更健康而不斷**,，懷著「多樣性」「**性」「世界化」的愿景，不斷的推出**產(chǎn)品,，面向全球開展業(yè)務(wù),，為社會(huì)作出貢獻(xiàn)。以高速·高精度·高可靠性目有市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ),， 在中國(guó)的顯示器 市場(chǎng)上有著20年以上銷售實(shí)例,，為許多廠家在研究開發(fā)、生產(chǎn)部門所使用,。并且在光源·照明 相關(guān)方面,，對(duì)***研究機(jī)構(gòu)、各個(gè)廠家的銷售量在逐步擴(kuò)大,。
分光光譜儀:高感度分光光譜儀 紫外/可見/近紅外光分光光譜儀
應(yīng)用范圍:
發(fā)光光譜分析儀系統(tǒng)
反射光譜分析儀系統(tǒng)
穿透,、吸收光譜分析儀系統(tǒng)
色度光譜分析儀系統(tǒng)
光源光譜分析儀系統(tǒng)(色度/輝度/照度)
膜厚光譜分析儀系統(tǒng)
董光光譜分析儀系統(tǒng)
雙折射相位差光譜分析儀
微光學(xué)元件光譜分析儀系統(tǒng)
產(chǎn)品規(guī)格:
分光光譜儀-2285C 分光光譜儀-3095C 分光光譜儀-3683C分光光譜儀-311C分光光譜儀-916C波長(zhǎng)范圍 220~850nm 300~950nm 360~830nm 360~1100nm 900~1600nm分光系統(tǒng) 平面場(chǎng)型
檢測(cè)單位 電子冷卻型CCD圖像傳感器 電子冷卻型InGaAs圖像傳感器
512ch 1024ch 512ch 1024ch 512ch 1024ch 512ch 1024ch 512ch理論分辨率 1.4nm 0.7nm 1.4nm 0.7nm 1.0nm 0.5nm 1.6nm 0.8nm 1.9nm光纖規(guī)格 石英光纖、口徑φ12mm,、長(zhǎng)度約2m 摻鍺石英光纖,、長(zhǎng)度約2m
星測(cè)功能 發(fā)光光譜量測(cè)、反射率光譜量測(cè),、穿透率光譜量測(cè),、吸收光譜量測(cè)尺寸重量 110(W)x230(H)x282(D)mm，約6kg
產(chǎn)品特點(diǎn):
*高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)光譜儀可量測(cè)透明,、低對(duì)比,、高反射率樣品，*適用于量測(cè)光通量,。*有效抑制雜散光,，*適合UV光譜分析。相較于本公司歷代分光光度計(jì),，雜光率僅約五分之一*曝光時(shí)間5msec~65sec*,。適用于量測(cè)微弱光源以及架設(shè)于生產(chǎn)線上即時(shí)檢測(cè)等多元應(yīng)用。"經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)纏系統(tǒng)光纖,，展現(xiàn)穩(wěn)定的重復(fù)再現(xiàn)性量測(cè),，*小巧輕量化的設(shè)計(jì)，相較于歷代機(jī)型,，容積比約減少60%,。
紫外/可見/近紅外光分光光譜儀
產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào)規(guī)格28C311C3593C
波長(zhǎng)范圍 220~800 nm 330~1100 nm 350~930 nm
分光元件 全息成像光柵、F=3、f=135mm
波長(zhǎng)精度*1 ±0,3 nm>±0.5 nm ±0.3 nm
感光元件*2 電子制冷型CCD影像感測(cè)器
512ch 1024ch 512ch 1024ch 512ch 1024ch解析能力 1.2nm 0.6nm 1.7nm 0.9nm 1.3nm 0.6nm
曝光時(shí)間*3 20msec~20sec
光纖規(guī)格 石英制光纖,、固定口徑12mm,、長(zhǎng)約1m
通訊介面 USB Or LAN
尺寸重量 300(W)x170(H)x350(D)mm,、約10kg
*1 波長(zhǎng)校正用光源對(duì)汞物理輝線之確認(rèn)值
*2 可選擇512ch或1024ch
*3 感度設(shè)定為Normal時(shí)
產(chǎn)品特點(diǎn):
*多通道分光光譜儀高速量測(cè)紫外光(UV),、可見光(VIS)、近紅外光(NIR)光譜,。
*功能豐富的專用軟體,，可進(jìn)行顯微分光、發(fā)光光源,、表面反射率,、穿透率、色度,、膜厚等光譜量測(cè),。
采用更專業(yè)的CCD影像感測(cè)器，感光能力較MCPD-3700約高出200~700倍,，在微弱光領(lǐng)域亦實(shí)現(xiàn)了20~30倍的高信噪比,。
**適用于低輝度(0.3cd/m2)，如螢光,、電漿發(fā)光等微弱光以及光源,、顯示器量測(cè)。
*搭配功能豐富的專用軟體,，可進(jìn)行顯微分光,、發(fā)光光源、表面反射率,、穿透率,、色度、膜厚等光譜量測(cè),。
可架設(shè)于生產(chǎn)線上,、真空環(huán)境或嵌入于現(xiàn)有設(shè)備中即時(shí)量測(cè)。
三.膜厚儀:顯微分光膜厚儀 反射式厚量測(cè)儀 橢m 360~1100nm 900~1600nm膜厚量測(cè)儀 膜厚光譜分析儀系統(tǒng) 顯微分光障厚是狽
儀
應(yīng)用范圍:
* FPD
·LCD,、TFT,、OLED(有機(jī)EL)
* 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體
·矽ct time Measurement Time 1秒/1
* 盜料儲(chǔ)存
·DVD,、磁頭薄膜,、磁性材料
* 光學(xué)材料
·濾光片、抗反射膜
*平面顯示器
液晶顯示器,、薄膜電晶體,、OLED
*薄膜
·AR膜
*其它
·建筑用材料
產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào)OP-A1OP-A2 OP-A3
波長(zhǎng)范圍 230~800nm 360~1100nm 900~1600nm
膜厚范圍 1nm~35um 7nm~49um 16nm~92um
樣品尺寸 Max.200mmx200mmx17mm
點(diǎn)徑φp 5um(反射40倍鏡頭)，改造后可達(dá)到3um
tact time Measurement Time 1秒/1點(diǎn)
尺寸本體(W555xD537xH559mm),控制單元(W500xD180xH288mm)功用750 VA
*1上述式樣是帶有自動(dòng)XY平臺(tái)。
*2 release 時(shí)期 是OP-A1在2016年6月末,、OP-A2,、OP-A3預(yù)定2016年9月
*3 膜厚范圍是Si02換算:
產(chǎn)品特點(diǎn):
*膜厚測(cè)量中必要的功能集中于頭部,
*通過顯微分光高精度測(cè)量**反射率(多層膜厚、光學(xué)常數(shù))
*1點(diǎn)只需不到1秒的高速tact.
*實(shí)現(xiàn)了顯微下廣測(cè)量波長(zhǎng)范圍的光學(xué)系(紫外~近紅外)
*通過區(qū)域傳感器控制的**構(gòu)造,，
*搭載可私人定制測(cè)量順序的強(qiáng)大功能,。
*即便是沒有經(jīng)驗(yàn)的人也可輕松解析光學(xué)常數(shù),
各種私人定制對(duì)應(yīng)(固定平臺(tái)，有嵌入式測(cè)試頭式樣)
四.反射式膜厚量測(cè)儀:
產(chǎn)品規(guī)格:
型號(hào)標(biāo)準(zhǔn)型 厚膜專用型
樣品大小*大200mmx200mmx7(厚度)mm
可測(cè)層數(shù)
膜厚范圍
發(fā)寸
1nm~40um 0.8um~210um 1um~240um 80um~1mm
波長(zhǎng)范圍190nm~760nm 230nm~800nm 330nm~1100nm430nm~970nm 750nm~850nm 900nm~1600nm 1490nm~1590nm
測(cè)試單元
CCD CCD CCD PDA PDAInGaAs InGaAs
膜厚精度
±0.1nm(以NIST認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)樣品為依據(jù))*2
重復(fù)性精度(2.10)
膜厚測(cè)試(Si基板上的SiO膜 100nm未滿:0.1nm*3
100nm以上:0.07%
反射率測(cè)試(Si基板)230nm~250nm:0.8%*4
250nm~800nm:0.4%*4
800nm~1050nm:0.8%*4
測(cè)試光斑*5φ40um,、p20um,、10um、p6.6um,、(p5um對(duì)物鏡頭反射式對(duì)物鏡頭倍數(shù):x10倍,、x20倍、x30倍,、x40倍
折射式對(duì)物鏡頭(可視):x5倍,、x10倍、x20倍
測(cè)試光源D 2(紫外光),、12(可見光),、D2 + 2(紫外-可見光)
XYZ stage自動(dòng)stage 手動(dòng)stage行程X:200mm、Y:250mm,、Z:10mmX:200mm,、Y:250mm、Z:10mm重復(fù)性精度2um<0.5um>
驅(qū)動(dòng)分辨率1um<0.1um>
尺寸·重量481 (W)mmx770(H)mmx714(D)mm約96kg 427 (W)mmx770(H)mmx725(D)mm約88kg
控制單元自動(dòng)stage 手動(dòng)stage尺寸·重量300(W)mmx710(H)mmx450(D)mm約34kg 300(W)mmx380 (H)mmx450(D)mm約18kg
電源 規(guī)格AC100V+10V 750VA AC100V+10V 500VA
軟件
測(cè)試
手動(dòng)測(cè)試/連續(xù)測(cè)試/制圖測(cè)試(mapping)/測(cè)試與計(jì)算同步功能非線性*小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/*適化法
解析
基板解析/里面反射補(bǔ)正/各類nk解析模型式**反射率/解析結(jié)果Fitting/折射率n的波長(zhǎng)相關(guān)性/消光系數(shù)k的波長(zhǎng)相關(guān)性3D顯示功能(面內(nèi)膜厚分布,、鳥窺圖,、等高線、斷面圖)系統(tǒng)維護(hù)材料文件構(gòu)建(database管理),、硬件的各種設(shè)定基官樣品對(duì)焦的數(shù)值顯示功能,、自動(dòng)對(duì)焦功能(自動(dòng)stage有此功能)、內(nèi)部反射補(bǔ)正功能
數(shù)據(jù)處理
數(shù)據(jù)處理臺(tái)式電腦,、顯示器,、打印機(jī)
*1具體請(qǐng)咨詢本公司。
*2以VLSI公司的標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm Si02/Si)范圍值保證書為依據(jù),。
*3量測(cè)VLSI公司的標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm Si02/Si)同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)性,。(2.1倍0)4具體參照相關(guān)保證書，
5鏡頭為選配件,，具體請(qǐng)咨詢本公司,。
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