山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍的工作原理和產(chǎn)品特性

來(lái)源：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 2025年05月29日 16:31

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD：高效雙面電鍍解決方案

一,、工作原理

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 是一種先進(jìn)的電鍍?cè)O(shè)備,，專為晶圓的雙面同時(shí)電鍍?cè)O(shè)計(jì),。設(shè)備采用的槳式攪拌器,，通過(guò)攪拌晶圓的兩面,，確保電鍍?nèi)芤壕鶆蚍植迹瑢?shí)現(xiàn)高效的雙面電鍍,。其工作原理基于電化學(xué)反應(yīng),，在電鍍槽中，晶圓作為陰極,，與陽(yáng)極支架配合,，通過(guò)電鍍電源提供穩(wěn)定的電流，促進(jìn)金屬離子在晶圓表面沉積。同時(shí),，設(shè)備配備加熱器和氣泵,，可精確控制電鍍過(guò)程中的溫度和溶液流動(dòng)，確保電鍍質(zhì)量,。

二,、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：A-52-STD
適用樣品尺寸：直徑 2 至 8 英寸或 50 至 200 毫米見(jiàn)方的方形樣品
電鍍方式：雙面同時(shí)電鍍
攪拌方式：?jiǎn)螛綌嚢杵?/div>
加熱器：AC100V，功率可選 100W,、300W 或 500W
電源：晶圓精密電鍍電源（YPP15031WA/15100WA）
氣泵：適用于 M202/10L 水箱
過(guò)濾器：迷你迷你過(guò)濾器（20APFA/40APFA）
標(biāo)配附件：晶圓雙面電鍍槽,、雙面電鍍用陰極盒（標(biāo)準(zhǔn)型/密封型/吸力封閉型）、陽(yáng)極支架,、加熱器,、電源、氣泵,、槳式攪拌器,、過(guò)濾器、引線,、空氣過(guò)濾器等

三,、產(chǎn)品特點(diǎn)

高效雙面電鍍：設(shè)備采用單槳式攪拌器，能夠同時(shí)對(duì)晶圓的兩個(gè)表面進(jìn)行電鍍,，顯著提高電鍍效率,，減少加工時(shí)間。
高精度控制：配備高精度的電鍍電源和溫度控制系統(tǒng),，能夠精確調(diào)節(jié)電鍍電流和溶液溫度,，確保電鍍層的均勻性和厚度一致性。
多樣化樣品適應(yīng)性：適用于直徑 2 至 8 英寸的圓形晶圓以及 50 至 200 毫米見(jiàn)方的方形樣品,，滿足不同尺寸和形狀的電鍍需求,。
靈活的定制選項(xiàng)：可根據(jù)客戶的具體需求定制夾具和電鍍槽的形狀，提供個(gè)性化的解決方案,。
符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：設(shè)備設(shè)計(jì)符合 CE 標(biāo)志要求,，確保安全性和可靠性
環(huán)保設(shè)計(jì)：使用帶溫度保險(xiǎn)絲的加熱器,，增強(qiáng)保護(hù)功能,，減少能耗

四,、應(yīng)用場(chǎng)景

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、MEMS,、SiC、玻璃,、GaAs,、InP 等材料的精密電鍍。在半導(dǎo)體制造中，用于 TSV（硅通孔）和 TSG（通孔玻璃）等先進(jìn)封裝技術(shù)的電鍍工藝,。此外,，設(shè)備還可用于科研實(shí)驗(yàn)和工業(yè)生產(chǎn)中的各種電鍍需求，如金屬沉積,、表面處理和材料改性等

五,、總結(jié)

山本鍍金 YAMAMOTO 晶圓雙面電鍍?cè)O(shè)備 A-52-STD 憑借其高效雙面電鍍能力、高精度控制和靈活的定制選項(xiàng),，為晶圓電鍍提供了一種理想解決方案,。其廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和的性能使其成為半導(dǎo)體制造和科研實(shí)驗(yàn)中的重要設(shè)備

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