半導(dǎo)體制造涉及清洗,、蝕刻、光刻等多道工藝,，其中含氯化學(xué)品（如三氯化硼,、四氯化硅）的使用廣泛。這些工藝過程中,，若氯氣（Cl?）未反應(yīng)或發(fā)生泄漏，將直接危害人員健康與設(shè)備安全,。根據(jù)《GBZ 2.1-2019 工作場所有害因素職業(yè)接觸限值》,，氯氣的8小時(shí)加權(quán)平均容許濃度（TWA）僅為0.5ppm，短時(shí)間接觸容許濃度（STEL）為1ppm,；當(dāng)濃度超過10ppm時(shí),，30分鐘暴露即可致命[2]。此外,，氯氣若未有效處理直接排放,，還會(huì)腐蝕設(shè)備、污染大氣,，違反環(huán)保法規(guī),。因此，對(duì)氯氣的實(shí)時(shí)監(jiān)測與精準(zhǔn)管控,，是半導(dǎo)體企業(yè)安全生產(chǎn)與環(huán)保達(dá)標(biāo)的核心需求,。

針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)高濕、微腐蝕,、需24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測的復(fù)雜環(huán)境,，深國安電子推出了SGA-500系列、SGA-501系列等多款氯氣檢測儀,，從硬件到功能均進(jìn)行了專項(xiàng)優(yōu)化[?]：

• 防爆抗腐,，適應(yīng)嚴(yán)苛環(huán)境：設(shè)備采用工業(yè)級(jí)鋁合金防爆外殼（防爆等級(jí)ExdⅡCT6 Gb），搭配IP67防護(hù)設(shè)計(jì)與納米涂層技術(shù),，可抵御酸霧,、水汽的侵蝕；針對(duì)半導(dǎo)體車間可能存在的高溫環(huán)境（如800℃工藝段）,，還可選配專用高溫探桿,，確保穩(wěn)定運(yùn)行[?]。

• 高精度檢測,，數(shù)據(jù)可靠：內(nèi)置國外進(jìn)口電化學(xué)傳感器,，配合32位納米級(jí)微處理器與24位超高ADC采集芯片，支持ppb級(jí)精度檢測,；全量程溫濕度補(bǔ)償功能,，避免環(huán)境溫濕度波動(dòng)對(duì)數(shù)據(jù)的干擾,，保障長期監(jiān)測的穩(wěn)定性[2]。

• 智能聯(lián)動(dòng),，風(fēng)險(xiǎn)快速處置：設(shè)備支持4-20mA,、RS485等多種信號(hào)輸出，兼容90%以上PLC,、DCS等上位機(jī)系統(tǒng),；內(nèi)置2組無源觸點(diǎn)繼電器，當(dāng)氯氣濃度超標(biāo)（如超過0.5ppm TWA）時(shí),，可自動(dòng)聯(lián)動(dòng)風(fēng)機(jī),、噴淋系統(tǒng)或切斷閥，實(shí)現(xiàn)“檢測-報(bào)警-處置”閉環(huán),，將泄漏風(fēng)險(xiǎn)控制在萌芽狀態(tài)[?],。

• 遠(yuǎn)程管理，提升運(yùn)維效率：通過GPRS,、WIFI等無線傳輸技術(shù),，監(jiān)測數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)上傳至深國安物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)，管理人員通過手機(jī)APP或電腦即可遠(yuǎn)程查看濃度曲線,、歷史記錄及報(bào)警信息,；設(shè)備還具備智能校準(zhǔn)提醒、傳感器壽命預(yù)警等功能,，減少人工巡檢成本