手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
國產(chǎn)質(zhì)量流量控制器技術(shù)突破：從熱式到壓差式的技術(shù)演進與性能對比
技術(shù)演進背景
質(zhì)量流量控制器(MFC)作為精密氣體流量控制的核心部件，其技術(shù)演進始終圍繞精度、響應(yīng)速度和氣體兼容性展開。早期國產(chǎn)MFC以熱式技術(shù)為主，通過測量氣體熱傳導(dǎo)特性實現(xiàn)流量控制,，但存在氣體兼容性差,、易受污染等問題。近年來,，隨著半導(dǎo)體,、新能源等領(lǐng)域?qū)Χ鄽怏w、高精度控制的需求激增,，壓差式技術(shù)憑借其通用性強,、穩(wěn)定性高的優(yōu)勢逐漸成為國產(chǎn)替代的重要方向。
熱式與壓差式技術(shù)原理對比
熱式質(zhì)量流量控制器
原理：基于氣體熱傳導(dǎo)特性,，通過加熱元件與溫度傳感器組合,，測量氣體流動帶走的熱量差異。上下游溫度差與質(zhì)量流量成正比,，傳感器將溫差轉(zhuǎn)換為電信號,，控制器據(jù)此調(diào)節(jié)閥門開度。
優(yōu)勢：響應(yīng)速度快(可達0.2秒),、精度高(±0.5% F.S),，適用于單一氣體或已知熱特性的氣體流量控制。
局限：依賴氣體熱特性,，需針對每種氣體進行標定和轉(zhuǎn)換系數(shù)調(diào)整,；熱絲易被腐蝕性氣體侵蝕，壽命較短,；易受氣體中雜質(zhì)(如顆粒物,、油污)影響，導(dǎo)致測量精度下降,。
壓差式質(zhì)量流量控制器
原理：基于層流狀態(tài)下流體壓力差與流量的線性關(guān)系,，通過測量氣體在層流狀態(tài)下的壓差來計算流量。層流狀態(tài)下,，氣體流動呈線性,，壓差與流量成正比，且與氣體種類無關(guān),。
優(yōu)勢：氣體兼容性強,，無需為每種氣體設(shè)置轉(zhuǎn)換系數(shù)，可直接測量多種氣體,；適合測量混合氣體(如空氣、天然氣等),；耐腐蝕材料(如不銹鋼,、陶瓷)可適配腐蝕性氣體(如氯氣、氨氣等),；內(nèi)置溫度和壓力傳感器,，可實時補償環(huán)境變化對測量的影響。
局限：在某些強腐蝕氣體環(huán)境下，材料選擇受限,；相比熱式技術(shù),，響應(yīng)速度可能稍慢。
性能對比與應(yīng)用場景
精度與穩(wěn)定性
熱式MFC在單一氣體或已知熱特性的氣體控制中精度更高(±0.5% F.S),，但長期穩(wěn)定性受氣體腐蝕和污染影響較大,。
壓差式MFC通過溫度和壓力補償技術(shù)，在不同工況下穩(wěn)定性更優(yōu),，適合多氣體,、混合氣體及腐蝕性氣體的測量場景。
響應(yīng)速度
熱式MFC響應(yīng)速度快(0.2秒內(nèi)),，適合需要快速調(diào)節(jié)的場景(如半導(dǎo)體刻蝕工藝),。
壓差式MFC響應(yīng)速度稍慢，但通過優(yōu)化設(shè)計可滿足大多數(shù)工業(yè)需求,。
氣體兼容性
熱式MFC需針對每種氣體進行標定,，混合氣體測量中易受成分變化影響，精度下降,。
壓差式MFC無需考慮氣體熱特性,，兼容性更強，適合多氣體,、混合氣體及腐蝕性氣體的測量場景,。
應(yīng)用場景
熱式MFC：適用于半導(dǎo)體制造、實驗室設(shè)備等對單一氣體精度要求高的場景,。
壓差式MFC：適用于新能源(如氫能,、燃料電池)、環(huán)保(如廢氣監(jiān)測),、醫(yī)療(如麻醉氣體控制)等多氣體,、混合氣體及腐蝕性氣體的測量場景。
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品,，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責任,。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購中心