KASHIYAMA日本樫山真空泵MU180X的特點(diǎn)

無油潔凈：采用無油干式技術(shù)，通過精密嚙合的螺桿式 / 爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)氣體壓縮,，全程無潤滑油,，可避免油蒸氣對工藝腔體的污染,，適用于如晶圓加工等對潔凈度要求敏感工藝。

抽速高：最大抽速可達(dá) 3000L/min,，能夠快速有效地抽取氣體,，可適應(yīng)中高負(fù)載的真空需求，滿足如真空鍍膜系統(tǒng),、等離子清洗設(shè)備等對抽氣速度有較高要求的設(shè)備,。

極限壓力低：極限壓力為 1.5Pa，可獲得較高的真空度,，能滿足一些對真空環(huán)境要求較為苛刻的工藝需求,。

耐腐蝕：轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，能夠耐受酸性氣體（如 HCl,、Cl?）和顆粒物,，可應(yīng)用于有腐蝕性氣體的環(huán)境。

節(jié)能高效：配備低功耗電機(jī),，功率約 0.5kW,，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品；同時采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,，能耗較油封泵可降低 30% - 50%,。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 550×280×299mm，重量約 95kg,，占地面積小,，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項目,。

智能控制：具有實(shí)時參數(shù)顯示功能,，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度,、功耗等數(shù)據(jù),；還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動,、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警,，并自動停機(jī)保護(hù)。

維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu),，簡化了檢修流程,，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時間,。

電源適應(yīng)性強(qiáng)：電源為三相 AC200 - 220V,，50/60Hz，能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境,，方便在不同地區(qū)和場合使用,。