KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特點(diǎn)

抽速高：最大抽速可達(dá) 20,000L/min,，能快速抽取氣體，可滿足大負(fù)載真空需求，大大縮短抽氣時(shí)間,，提高生產(chǎn)效率，適用于對抽氣速度要求高的工藝,，如大型半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備,、大型真空干燥設(shè)備等。

極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa,，可獲得高真空度,，能滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝，如高精度半導(dǎo)體光刻,、電子束蒸發(fā)等工藝對真空度要求,，該真空泵能提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境。

無油潔凈：采用無油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì),，避免油污染,，可確保工藝腔體潔凈無殘留。適用于對潔凈度要求高的行業(yè),，如半導(dǎo)體,、液晶、LED 及太陽能光伏等,，在這些行業(yè)中,，微小的油滴或油蒸氣都可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。

節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機(jī),，功率約 0.6kW,。運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品,，降低了能耗與運(yùn)行成本；同時(shí)采用變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速,，可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整抽氣速度,，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30% - 50%,。

結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸為 625×275×580mm,，重量約 165kg，占地面積小,，便于安裝在空間有限的設(shè)備中,，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上,，不占用過多空間,。

維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡單,，無需復(fù)雜的拆卸和組裝過程,，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。維護(hù)人員可快速定位和更換故障模塊,，減少設(shè)備停機(jī)維修時(shí)間,，提高設(shè)備利用率。

電源適應(yīng)性強(qiáng)：電源為三相 AC200 - 220V,，50/60Hz,，能適應(yīng)多種電力供應(yīng)環(huán)境，方便在不同地區(qū)和場合使用,，無需額外配置復(fù)雜的電源轉(zhuǎn)換設(shè)備,。

運(yùn)行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn),，不易出現(xiàn)故障,。且噪音低、振動小,，連續(xù)排氣無脈動,，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對工作場所的噪音污染和振動干擾,。

智能控制：具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示功能,，可通過觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度,、功耗等數(shù)據(jù),；還配備自診斷系統(tǒng)，通過振動、溫度傳感器對異常情況（如過載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警,，并自動停機(jī)保護(hù),，方便操作人員實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理問題,。