天恒科儀真空高低溫探針臺通過模塊化設(shè)計，整合真空系統(tǒng),、溫控模塊與探針定位系統(tǒng)

為科研與工業(yè)測試材料與器件在溫度（-193℃至+400℃）和真空環(huán)境（10?3 mbar）下的性能測試至關(guān)重要,。提供可靠的環(huán)境控制與數(shù)據(jù)采集支持。

核心技術(shù)亮點

寬溫域與真空環(huán)境

溫控范圍：-193℃（液氮制冷）至+400℃（電阻加熱）,，覆蓋超導(dǎo)、半導(dǎo)體,、高溫器件的全溫區(qū)測試需求,。

真空度：10?3 mbar，有效隔絕水氧干擾,，確保實驗環(huán)境純凈,。

協(xié)同優(yōu)勢：溫控模塊與真空系統(tǒng)聯(lián)動，支持溫度下的真空或惰性氣體環(huán)境測試,。

探針定位與信號采集

定位精度：XYZ三軸微調(diào)行程12mm×12mm×12mm,，定位精度1.4μm（重復(fù)定位誤差±0.5μm）。

信號保真：三同軸探針夾具漏電流<100fA（25℃）,，結(jié)合高純度鎢探針（耐溫-200℃至+450℃）,，保障微弱信號的無損采集。

模塊化與擴展兼容性

靈活配置：支持4組探針座同時工作,，可擴展探針數(shù)量及夾具類型（如高頻探針,、微波探針）。

外接接口：預(yù)留電氣接口與快擰接頭,，兼容光譜儀,、鎖相放大器等外部設(shè)備，滿足光電同步測試需求,。

安全性與操作穩(wěn)定性

液氮安全設(shè)計：定制防泄漏管路與液氮流量控制器,，避免低溫操作風(fēng)險,。

溫控穩(wěn)定性：PID算法控制，溫度波動±0.5℃,，升降溫速率≤5℃/min（液氮模式）,。

細(xì)配置參數(shù)

真空腔體系統(tǒng)：

腔體尺寸：400mm（長）×400mm（寬）×100mm（高），內(nèi)部容積16L,。

功能組件：

方形石英視窗（φ30mm）：支持光學(xué)觀測與光電同步測試,。

快擰接口×4：用于連接真空泵、充氣閥及外部設(shè)備,。

溫度控制系統(tǒng);

控溫精度：

溫度均勻性±1℃（樣品臺表面）,，配備20L液氮杜瓦瓶與防結(jié)霜管路。

探針定位與信號采集系統(tǒng):

樣品固定：

25mm×25mm防滑樣品臺,，適配氧化鋁陶瓷絕緣片,，采用彈片壓持固定。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體器件測試

電學(xué)性能分析：在寬溫域（-193℃至+400℃）下測量晶體管IV特性,、電容-電壓（CV）曲線,。

可靠性驗證：高溫環(huán)境（如+400℃）中評估功率器件的長期穩(wěn)定性。

超導(dǎo)材料研究

臨界溫度測定：在液氮溫區(qū)（-196℃）監(jiān)測超導(dǎo)材料的電阻突變行為,。

量子器件表征：真空環(huán)境下測試約瑟夫森結(jié)的量子相干性,，減少環(huán)境干擾。

光電器件測試

高溫光電響應(yīng)：分析LED,、激光器在高溫環(huán)境下的發(fā)光效率衰減特性,。

真空光電同步測試：通過石英視窗實現(xiàn)光電流與電信號的同步采集。

新能源材料研究

電極材料膨脹率測試：鋰離子電池電極在高溫（300℃）下的形變與阻抗分析,。

催化劑活性研究：燃料電池催化劑在低溫真空環(huán)境中的反應(yīng)動力學(xué)測量,。

設(shè)備選型與技術(shù)服務(wù)

定制化配置：可根據(jù)需求調(diào)整探針數(shù)量、溫控范圍及真空度等級,。

技術(shù)支持：提供設(shè)備安裝,、操作培訓(xùn)及定期維護(hù)服務(wù)。