實驗名稱：正弦加三角波復合相位調(diào)制雙零差干涉儀位移測量相關實驗

　　實驗目的：穩(wěn)定性實驗中,，測試雙零差干涉儀在測量鏡M2靜止時，進行長時間的測量時,，環(huán)境參數(shù)變化引起的兩路干涉信號相位差的漂移情況,。

　　測試設備：電壓放大器、He?Ne激光器,、測量鏡,、干涉儀、信號發(fā)生器等,。

　　圖1：雙零差干涉儀位移測量系統(tǒng)實驗裝置

　　實驗過程：

　　雙零差干涉儀位移測量系統(tǒng)實驗裝置如圖1所示,。調(diào)好光路后，測量鏡M2靜止不動,，EOM采用線性相位調(diào)制,，調(diào)制信號由信號發(fā)生器產(chǎn)生，鋸齒波頻率設置為500Hz,，幅值起初設置為7.5V左右,，再通過微調(diào)幅值使得干涉信號是一個完整的余弦信號。一直測量PD1和PD2檢測到的干涉信號相位差,，并長時間記錄相位差的變化情況,。實驗時要確保實驗環(huán)境的穩(wěn)定，減少其他因素的干擾,，因此實驗在夜晚進行，實驗結(jié)果如圖2所示,。

　　實驗結(jié)果：

　　圖2：小時相位差穩(wěn)定性測試實驗結(jié)果

　　從圖2中可以看出：在6個小時內(nèi)相位差變化約為80o,，每分鐘約變化0.2o，對于位移測量實驗,，一般測量速度為毫米級每秒,，實驗全程能夠在幾分鐘內(nèi)完成。因此在環(huán)境較好的情況下,，在一次位移測量過程中相位差漂移較小,。

　　電壓放大器推薦：ATA-2048高壓放大器

　　圖：ATA-2048高壓放大器指標參數(shù)

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