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日本NGK半導(dǎo)體行業(yè)用靜電Chuck產(chǎn)品介紹

來源：秋山科技（東莞）有限公司 2025年05月12日 12:31

概述

它在強(qiáng)度，熱傳導(dǎo)和熱量沖擊方面表現(xiàn)出色,。我們的音量阻力控制技術(shù)允許廣泛的溫度范圍,。

它具有高強(qiáng)度，高熱電導(dǎo)率和高熱沖擊性,。陶瓷用作介電底物,，音量電阻率控制允許多種低溫，中和高溫,。

它具有好的對鹵素氣體（例如氟基氣）的耐腐蝕性,。

通過表面處理和特殊清潔,，它可以達(dá)到低粒徑。

它可以適應(yīng)99.9％或更多的純度,。

除了晶圓吸附函數(shù)外,，Nippon Gaishi的靜電Chuck還可以添加各種功能。

高度精確的加熱元件掩埋技術(shù)使與陶瓷加熱器集成成為可能,，從而達(dá)到晶圓表面溫度以下±1％,。

通過將陶瓷板粘合并連接給冷卻板的陶瓷板,，它具有高的冷卻性能,。

散裝電極同時提供了晶圓和RF等離子體產(chǎn)生的簡單穩(wěn)定的吸附,。

[典型價值]

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