層流壓差式防爆型的質(zhì)量流量控制器的工藝結(jié)構(gòu)及特點

耐腐蝕材料與密封優(yōu)化

材料選擇：采用316L不銹鋼流道,，其低碳含量與鉬元素增強了抗點蝕和晶間腐蝕能力,，適用于Cl?,、H?S等腐蝕性介質(zhì)環(huán)境,。

密封技術：關鍵密封點使用FFKM全氟醚橡膠或PTFE材質(zhì),，耐受強酸,、強堿及有機溶劑，漏率控制在1×10?10 Pa·m3/s以下,，避免介質(zhì)泄漏導致的部件失效,。

層流元件與傳感技術

層流元件：強制流體進入雷諾數(shù)Re<2000的層流狀態(tài)，通過哈根-泊肅葉定律實現(xiàn)流量計算,。

雙通道壓差傳感：結(jié)合溫度補償模塊修正粘度變化誤差,，典型精度可達±0.5%讀數(shù)精度重復性達±0.1%滿量程精度。

模塊化與智能集成

通訊接口：支持RS485、4-20mA,、0-5V等多種信號輸出,，便于集成到自動化系統(tǒng)。

觸屏操作與數(shù)據(jù)管理：配備觸控屏實現(xiàn)氣體介質(zhì)切換,、混合比例調(diào)整,，并提供上位機軟件實時監(jiān)控與數(shù)據(jù)下載。

環(huán)境適應性與耐用性

寬溫寬壓設計：工作溫度范圍-20℃~60℃,，耐壓達2.5MPa,，適用于苛刻的工業(yè)環(huán)境。

抗電磁干擾：金屬外殼設計提升抗干擾能力,，確保復雜環(huán)境下的穩(wěn)定性,。

易度智能的層流壓差式產(chǎn)品及技術優(yōu)勢

核心產(chǎn)品系列

EC標準型：量程0.5sccm~5000SLPM，精度±1.0%讀數(shù),，內(nèi)置70+種氣體參數(shù),，支持任意角度安裝，適用于實驗室與工業(yè)場景,。

EC高精型：精度提升至±0.5%,，耐壓1.5MPa，內(nèi)置70多種氣體,，適用于半導體工藝與新能源電池電解液灌裝,。

P300便攜式：配備充電電池，續(xù)航15小時,，支持無電源環(huán)境下的戶外測量,，響應時間<0.1秒。

技術創(chuàng)新與性能亮點

算法補償：通過壓力,、溫度傳感器的實時補償,，降低漂移量（如零點漂移<0.1%FS），提升長期穩(wěn)定性,。

多氣體兼容：支持70余種氣體及混合氣體測量,，用戶可自定義氣體參數(shù)，擴展應用場景,。

快速響應：部分型號響應時間<0.2秒,，滿足半導體薄膜沉積、燃料電池測試等快速控制需求,。

應用領域

半導體制造：精準控制蝕刻氣體（如Cl?,、SF?）流量，適配5nm以下制程要求,。

新能源與環(huán)保：用于氫氧燃料電池動態(tài)配比,、煙氣脫硫系統(tǒng)監(jiān)測及鋰電電解液灌裝,。

生物制藥：滿足無菌環(huán)境下笑氧混合氣體的亞秒級響應控制需求。

三,、易度智能的認證資質(zhì)與行業(yè)地位

國內(nèi)認證與標準參與

通過中國計量科學研究院認證,，是國內(nèi)唯—通過該認證的層流質(zhì)量流量計制造商。

參與編撰《流量測量技術全書》及制定《層流流量計型評大綱》《層流流量計檢定規(guī)程》等國家標準,。

國際認可與市場布局

產(chǎn)品銷往歐洲,、北美、東南亞等地區(qū),，技術指標對標國際品牌,，量程覆蓋0.1SCCM~20000SLPM，耐壓達2.5MPa,。

行業(yè)影響力

作為國內(nèi)第—家具備通用型層流流量計量產(chǎn)能力的企業(yè),，技術積累深厚，產(chǎn)品應用于西北工業(yè)大學等科研機構(gòu)及多家世界500強企業(yè),。

總結(jié)

層流壓差式質(zhì)量流量控制器的改進重點在于材料耐腐蝕性,、傳感精度及環(huán)境適應性，而易度智能憑借自主研發(fā)的算法補償技術,、多氣體兼容性及模塊化設計,，在半導體、新能源等領域展現(xiàn)了顯著競爭力,。其產(chǎn)品通過認證并參與行業(yè)標準制定,，技術指標接近甚至超過國際水平。