微納米圖案加工技術(shù)是現(xiàn)代科技領(lǐng)域中至關(guān)重要的一類加工技術(shù),，能夠在微米和納米尺度上實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的準(zhǔn)確加工和圖案化，廣泛應(yīng)用于微電子,、光電子,、生物醫(yī)學(xué)、航空航天等眾多領(lǐng)域,。以下是對(duì)其的綜述與分類：

激光無(wú)掩膜加工技術(shù)

· 激光直寫(xiě)微納米加工技術(shù)：無(wú)掩膜（曝光）光刻技術(shù)/激光直寫(xiě)技術(shù)利用激光的高能量,、高精度特性，通過(guò)聚焦激光束掃描對(duì)基片表面的光刻膠直接進(jìn)行精確變劑量曝光,，可實(shí)現(xiàn)微米至納米尺度的圖案加工,。常用于加工各種材料的微納米結(jié)構(gòu)，如制作微納光學(xué)元件,、生物芯片及傳感器和微機(jī)電系統(tǒng)器件（MEMS）等,。具有加工精度高、靈活性強(qiáng),、非接觸式加工等優(yōu)點(diǎn),；且無(wú)需掩膜版，節(jié)省了掩膜設(shè)計(jì),、制作,、存儲(chǔ)、維護(hù),、及材料費(fèi)用,。

具體加工步驟：

    -計(jì)算機(jī)控制高精度激光束掃描，直接按照預(yù)先設(shè)計(jì)好的圖案對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光,。在曝光過(guò)程中,，需要精確控制激光的功率、波長(zhǎng),、脈沖寬度,、曝光時(shí)間以及掃描速度等參數(shù)。

    -曝光后的基片需要進(jìn)行顯影處理,，以去除未曝光或曝光不足的光刻膠,，使圖案顯現(xiàn)出來(lái)。

    -如果需要將圖案轉(zhuǎn)移到基片上,，在顯影之后通常還需要進(jìn)行刻蝕工藝,。根據(jù)基片材料和圖案要求選擇合適的刻蝕方法，如濕法刻蝕或干法刻蝕,。

    -刻蝕完成后,，需要去除基片表面剩余的光刻膠，最終獲得微納米圖案,。

· 雙光子吸收光刻技術(shù)：利用飛秒激光的雙光子非線性吸收效應(yīng),，使光刻膠在焦點(diǎn)處發(fā)生光聚合反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)三維微納米結(jié)構(gòu)的加工。該技術(shù)具有很高的分辨率,，能夠突破傳統(tǒng)光學(xué)光刻的衍射極限,，可用于制造復(fù)雜的三維微納光學(xué)結(jié)構(gòu)、生物組織工程支架等,，但設(shè)備昂貴,，加工速度相對(duì)較慢。

推薦產(chǎn)品：

            桌面型無(wú)掩膜光刻系統(tǒng)/無(wú)掩膜曝光系統(tǒng)Maskless lithography System

            臺(tái)式激光直寫(xiě)系統(tǒng)Maskless Direct Laser Writing System

光刻技術(shù)類

· 光學(xué)光刻曝光技術(shù)（光刻機(jī)/曝光機(jī)）：通過(guò)光的照射,，用投影方法將掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的基片上,。主要包括紫外光刻等，隨著技術(shù)發(fā)展,，波長(zhǎng)不斷縮短以提高分辨率,，如深紫外曝光技術(shù)等。其優(yōu)點(diǎn)是可大規(guī)模生產(chǎn),、效率高,，適用于制作高精度的微型結(jié)構(gòu)陣列。但分辨率受光的波長(zhǎng)限制,，難以實(shí)現(xiàn)更小尺度的加工,。

· 電子束光刻技術(shù)（EBL）：采用聚焦電子束與化學(xué)膠作用后獲得圖案化結(jié)構(gòu)。電子束的波長(zhǎng)極短,，可獲得納米級(jí)甚至更高的分辨率,，能實(shí)現(xiàn)復(fù)雜、高精度的納米圖案加工,，常用于制作超精細(xì)的集成電路掩模,、納米器件等。不過(guò),，該技術(shù)曝光效率低,、設(shè)備昂貴，且存在電子散射導(dǎo)致的鄰近效應(yīng),，影響圖案精度,。

· 聚焦離子束光刻技術(shù)（FIB）：利用電透鏡將離子束聚焦成極細(xì)的束流，對(duì)材料進(jìn)行加工,。離子束的能量高,、聚焦精度高，可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的加工精度,，能用于對(duì)材料進(jìn)行高精度的刻蝕,、沉積等加工，在制作納米結(jié)構(gòu),、量子器件等方面有重要應(yīng)用,。然而,，設(shè)備復(fù)雜、成本高,，加工效率也較低,。

納米壓印技術(shù)類

· 熱納米壓印技術(shù)（NIL）：先將熱塑性聚合物光刻膠加熱至玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,，使其軟化,，然后將帶有納米圖案的模板壓入光刻膠中，冷卻固化后脫模,，實(shí)現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移,。該技術(shù)分辨率高、成本低,、效率高,，可用于大規(guī)模復(fù)制納米圖案，如用于制造納米光學(xué)元件,、微流控芯片等,。但需要精確控制溫度和壓力，且模板的使用壽命有限,。

· 紫外光固化納米壓印技術(shù)：使用紫外光固化的光刻膠,，在室溫下將模板與光刻膠接觸，施加壓力并曝光,，使光刻膠固化,，隨后脫模得到圖案。其具有室溫操作,、固化速度快,、圖案保真度高、對(duì)環(huán)境要求相對(duì)較低等優(yōu)點(diǎn),，適用于多種材料的加工,，在生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,。

掃描探針顯微鏡（SPM）加工技術(shù)類

· 掃描隧道顯微鏡加工技術(shù)（STM）：利用掃描隧道顯微鏡的探針與樣品表面的相互作用,，通過(guò)控制探針的位置和電流，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面原子或分子的操縱,，可用于在原子尺度上加工納米結(jié)構(gòu),、制作量子點(diǎn)等。該技術(shù)具有很高的分辨率,，能精確控制加工位置,，但加工速度慢，加工范圍有限,。

· 原子力顯微鏡加工技術(shù)（AFM）：通過(guò)原子力顯微鏡的探針與樣品表面的力相互作用,，對(duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕,、沉積或操縱等加工?？捎糜诩庸ぜ{米級(jí)的表面結(jié)構(gòu),、制作生物分子圖案等。其加工精度高,，對(duì)樣品的損傷小,，但同樣存在加工效率低的問(wèn)題。

· 浸蘸筆納米加工刻蝕（DPN）：利用原子力顯微鏡的探針,，將墨水（如有機(jī)分子,、生物分子等）通過(guò)毛細(xì)作用轉(zhuǎn)移到樣品表面，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的圖案繪制,。該技術(shù)可以在多種材料表面進(jìn)行圖案化,，適用于生物分子圖案化、納米器件制造等領(lǐng)域,，能精確控制圖案的位置和形狀,，但加工速度較慢，且對(duì)環(huán)境濕度等條件較為敏感,。

· 局部陽(yáng)極氧化納米加工技術(shù)（LAO）：通?；谠恿︼@微鏡，通過(guò)在探針與樣品之間施加一定的電壓,，使樣品表面發(fā)生局部氧化反應(yīng),，形成納米級(jí)的氧化圖案?？捎糜谠诮饘?、半導(dǎo)體等材料表面制作納米結(jié)構(gòu)，如納米線,、納米點(diǎn)等,，加工精度高，但加工效率較低,，且氧化過(guò)程受材料特性和環(huán)境因素影響較大,。

其他加工技術(shù)類

· 原子層刻蝕微納米加工技術(shù)（ALE）：基于原子層沉積的原理，通過(guò)精確控制化學(xué)反應(yīng)和物理過(guò)程,，在材料表面實(shí)現(xiàn)原子級(jí)精度的刻蝕,。可以對(duì)材料進(jìn)行非常精細(xì)的加工,，能夠精確控制刻蝕的深度和形狀,，適用于制造高精度的納米器件，但工藝復(fù)雜,，設(shè)備成本高,，目前主要處于研究和開(kāi)發(fā)階段,。

· 極紫外曝光（EUV）微納米加工技術(shù)：采用極紫外光作為曝光光源，其波長(zhǎng)極短,，能夠?qū)崿F(xiàn)很高的分辨率,，是制造超大規(guī)模集成電路中關(guān)鍵的光刻技術(shù)之一。不過(guò),，EUV 技術(shù)需要極其復(fù)雜和昂貴的光源系統(tǒng)以及高精度的光學(xué)元件,，技術(shù)難度大，目前只有少數(shù)幾家公司掌握該技術(shù),。

· x 射線曝光微納米加工技術(shù)：利用 x 射線的短波長(zhǎng)特性,，可實(shí)現(xiàn)較高的分辨率,，能夠突破光學(xué)光刻的衍射極限,，適用于制造超精細(xì)的集成電路圖案等。但 x 射線曝光需要特殊的 x 射線光源和掩模,，設(shè)備成本高昂,，工藝復(fù)雜。

· 干涉曝光微納米加工技術(shù)：基于光的干涉原理,，通過(guò)兩束或多束相干光在光刻膠上產(chǎn)生干涉條紋,，實(shí)現(xiàn)周期性的微納米圖案曝光。該技術(shù)可以產(chǎn)生非常精細(xì)的圖案,，且不需要掩模,，適用于制作納米光柵、光子晶體等結(jié)構(gòu),，但只能制作周期性的圖案,，應(yīng)用范圍有一定限制。

· 近場(chǎng)光學(xué)曝光微納米加工技術(shù)（SNOM）：利用近場(chǎng)光學(xué)原理,，通過(guò)特殊的近場(chǎng)光學(xué)探針或結(jié)構(gòu),，使光在亞波長(zhǎng)尺度下實(shí)現(xiàn)局域化和高分辨率曝光。該技術(shù)可以突破傳統(tǒng)光學(xué)光刻的衍射極限,，適用于納米尺度的圖案加工,，但曝光區(qū)域較小，通常需要采用掃描等方式進(jìn)行大面積圖案制作,，加工速度較慢,。

· 冰刻微納米技術(shù)

冰膠電子束光刻，簡(jiǎn)稱冰刻,，是一種新型微納加工技術(shù),。它以水蒸氣或其他氣體冷凝形成的固體冰薄膜取代傳統(tǒng)光刻膠進(jìn)行電子束曝光。水冰薄膜經(jīng)電子曝光后區(qū)域直接被去除,，起“正膠” 作用,；烷烴類和醇類等碳?xì)浠衔锢鋬鲂纬傻挠袡C(jī)冰,，未曝光區(qū)域在加熱至室溫后蒸發(fā)消失，起 “負(fù)膠” 作用,。冰刻技術(shù)能夠簡(jiǎn)化電子束光刻加工流程,，具有容易去膠剝離、原位對(duì)準(zhǔn),、適用于非平面襯底等特點(diǎn),，在三維微納加工領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)明顯。不過(guò),，冰刻工藝對(duì)儀器設(shè)備依賴性強(qiáng),，技術(shù)難度大，國(guó)際上相關(guān)研究組較少,。

· 微接觸微納米印刷技術(shù)

這是一種軟光刻技術(shù),，利用彈性印章將圖案從模板轉(zhuǎn)移到基底上。首先將具有微納米結(jié)構(gòu)的圖案制作在彈性印章上,，然后將印章蘸取油墨或光刻膠等材料,，與基底接觸，通過(guò)接觸壓力將圖案轉(zhuǎn)移到基底上,。該技術(shù)可用于制作各種微納米圖案,，尤其適用于生物分子圖案化、有機(jī)電子器件等領(lǐng)域,，具有成本低,、操作簡(jiǎn)單、對(duì)基底要求低等優(yōu)點(diǎn),，但圖案分辨率相對(duì)有限,，一般適用于較大尺度的微納米圖案加工。

· 電化學(xué)微納米加工技術(shù)

通過(guò)將材料放入電解液中,，并施加一定的電壓,，利用電解、電鍍等方式控制腐蝕的速度和深度,，從而制作出微納米結(jié)構(gòu),。例如，在微納電極加工,、微流控芯片制造等方面有應(yīng)用,。其優(yōu)點(diǎn)是加工精度較高，可通過(guò)控制電壓,、電流等參數(shù)精確控制加工尺寸和形狀,，且對(duì)材料的適應(yīng)性廣；缺點(diǎn)是加工效率相對(duì)較低,，需要專門的電解液和電源設(shè)備,，且對(duì)環(huán)境有一定污染,。

· 微納米自組裝技術(shù)：利用分子或納米粒子之間的自組裝作用，形成具有特定圖案或結(jié)構(gòu)的納米體系,。如通過(guò)分子自組裝,、納米粒子自組裝等方式，可制備出各種有序的納米結(jié)構(gòu),，如納米線,、納米管、納米陣列等,。該技術(shù)具有成本低,、可大規(guī)模制備等優(yōu)點(diǎn)，但自組裝過(guò)程難以精確控制,，圖案的復(fù)雜性和精度相對(duì)有限,。

· 模板輔助微納米加工技術(shù)：使用具有特定結(jié)構(gòu)的模板來(lái)引導(dǎo)材料的生長(zhǎng)或沉積，從而形成微納米圖案,。模板可以是多孔氧化鋁模板,、光刻膠模板等,。例如,，通過(guò)在多孔氧化鋁模板的孔中填充金屬或半導(dǎo)體材料，可以制備出納米線陣列,。這種方法可以精確控制圖案的尺寸和形狀,，但模板的制備過(guò)程通常較為復(fù)雜，且模板的選擇和使用受到一定限制,。