表面體積電阻率測試儀對樣品的主要要求如下：

一、表面體積電阻率測試儀幾何尺寸規(guī)范

?標(biāo)準(zhǔn)試樣尺寸?

圓形平板：直徑φ100mm或φ50mm

方形平板：100×100mm2或50×50mm2

管狀試樣：長度100mm或50mm

基材厚度≥0.50mm時優(yōu)先采用100×100mm2規(guī)格

?厚度要求?

常規(guī)固體材料：2-4mm（ASTM D257標(biāo)準(zhǔn)）

薄膜材料：需使用非接觸式厚度儀測量5個點取平均值,，誤差≤±0.02mm

二,、表面體積電阻率測試儀表面處理要求

?清潔規(guī)范?

使用異丙醇與去離子水（3:1）混合液擦拭表面

特殊污染物需用400目氧化鋁拋光膏處理，處理后接觸電阻<0.1Ω

?干燥條件?

105℃烘箱干燥2小時以消除靜電

平衡處理：在23±2℃,、50±5%RH環(huán)境下靜置24小時

三,、表面體積電阻率測試儀特殊材料要求

?復(fù)合材料?

需分層測試并記錄層間接觸電阻

半導(dǎo)體材料需采用四點探針法消除邊緣效應(yīng)

?納米涂層/薄膜?

實施多點采樣法，每個樣品至少選取5個測試點

安裝時需使用真空吸附裝置避免氣泡干擾

四,、表面體積電阻率測試儀電極制備標(biāo)準(zhǔn)

?導(dǎo)電層處理?

覆銅箔面采用蝕刻法制備標(biāo)準(zhǔn)電極圖形

未覆銅面需涂覆導(dǎo)電銀漆,，涂層厚度≤50μm

?特殊形狀樣品?

管狀樣品需保證電極覆蓋周長≥90%

不規(guī)則試樣需通過機械加工獲得平行測試面

五、表面體積電阻率測試儀數(shù)量與質(zhì)量控制

常規(guī)測試需≥3個有效樣品

高精度測量時每組數(shù)據(jù)需連續(xù)記錄3組穩(wěn)定值,，偏差>10%需復(fù)測

注：以上要求綜合GB/T 1410,、IEC 60093及ASTM D257等標(biāo)準(zhǔn)制定，實際測試應(yīng)根據(jù)具體材料特性調(diào)整參數(shù),。

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