精密平臺是可以在X,、Y方向或者旋轉(zhuǎn)方向上精確移動的平臺,。

可移動軸的數(shù)量根據(jù)型號不同而不同，有各種類型的精密平臺可供選擇,，從1軸到4軸或更多,。

平臺由小螺距進給絲杠移動，千分尺或帶減速器的電機使工作臺以微米級移動,，適合觀察極小的樣品,。

雖然平臺可以精確移動，但運動范圍很小,，只有幾厘米,，因此不適合需要平臺大幅度移動的應用。

精密平臺的應用

精密平臺允許沿每個軸（包括 X,、Y,、Z 和其他三個旋轉(zhuǎn)軸）進行精確和獨立的移動，并且用于需要精確控制樣品位置的情況,。

可用作觀察半導體元件等微小物體的顯微鏡載物臺,、固定加工機進行精密加工的工件的載物臺、檢查光學鏡頭時用于對準光軸的檢查載物臺,、或用于連接具有高精度定位的部件的載物臺,。

精密平臺的原理

精密平臺是高精度的線性導軌、進給絲杠,、以及使進給絲杠旋轉(zhuǎn)的千分尺或帶減速器的電動機構(gòu)成,，這些機構(gòu)的數(shù)量與可動軸的數(shù)量相同。當進給螺桿伸出一次時,，平臺就會移動螺桿的螺距（約幾十分之一毫米）,。

使用千分尺時，可以通過讀取千分尺上刻制的特殊刻度來確定移動量,。

使用電機時,，電機內(nèi)部裝有旋轉(zhuǎn)編碼器。,，檢測旋轉(zhuǎn)次數(shù)，從而控制平臺的移動量,。

根據(jù)應用情況,，精密平臺有多種產(chǎn)品可供選擇，從僅具有 X 軸的單軸平臺,，到具有 X 和 Y 軸的雙軸平臺,，再到包括 Z 軸和旋轉(zhuǎn)的三軸到六軸平臺,。 6軸精密平臺可以只使用1個軸，即“以小博大",，但由于精密平臺的可動軸越多,，其價格就越高，因此建議選擇具有 低必要規(guī)格的平臺,。