雙軸平臺(XY軸平臺)是具有兩個軸的定位平臺:X軸用于左右移動,Y軸用于前后移動,。
雙軸平臺的優(yōu)點在于使用兩個軸可以輕松定位,。雙軸平臺一般由沿各個軸方向移動的平臺堆疊而成。
雙軸平臺的精度和特點根據(jù)引導平臺的導向機構(gòu)和移動平臺的進給機構(gòu)而有所不同,。
2軸平臺的應用
2 軸平臺可用于多種需要定位的應用場合,。例如需要對工件進行定位的半導體制造設(shè)備、需要對樣品進行定位的顯微鏡等,。
雙軸平臺有多種類型,,根據(jù)導向機構(gòu)和進給機構(gòu)的不同,精度從低到高精度不等,。此外,,根據(jù)導向和進給機制的不同,特征也不同,。因此,,
需要根據(jù)應用選擇具有適當精度和功能的2軸平臺。
2軸平臺原理
雙軸工作臺配備有工作臺導向機構(gòu)和進給機構(gòu),。下面我們將對各機制的代表性方法進行說明,。
1.導向機構(gòu)
燕尾槽法:
采用梯形燕尾槽與燕尾槽相配合的燕尾榫的導向機構(gòu)。燕尾槽在燕尾槽內(nèi)滑動,。由于摩擦系數(shù)較大,,不適合高精度定位。另一方面,,
它的低成本使其成為簡單定位應用的理想選擇,。
交叉滾柱式
采用內(nèi)置滾柱的滑塊與帶有V型槽的導軌的導向機構(gòu)。當滑塊沿導軌移動時,,滾輪與V型槽的側(cè)面呈線接觸滾動,。其特點是剛性強。此外,,
由于它能夠以低摩擦的方式進行小幅進給,因此也適合精確定位,。
滾珠型
這是采用內(nèi)置滾珠的滑塊與帶有圓弧狀R槽的導軌的導向機構(gòu),。當滑塊沿導軌移動時,滾珠會緊貼R槽的側(cè)面滾動,。
R槽與鋼球的接觸良好,,其特點是對任何方向的載荷均具有穩(wěn)定的載荷能力。與交叉滾子方式相比,,運動精度無明顯差別,,適合精確定位。
2.進料機構(gòu)
齒條小齒輪
是一種進給機構(gòu),它使用形成齒條齒輪的軌道和稱為小齒輪的齒輪,。其特點是可以快速移動載物臺,,但不適合高精度的定位。
采用公螺紋和母螺紋的螺旋式進給機構(gòu),。例如,,滾珠絲杠就是這種進給機構(gòu)的一個例子。工作臺可以以螺距的分辨率移動,,從而可進行精細移動,,
但進給速度較慢,不適合長行程定位,。
這是一種螺旋式進給機構(gòu),,其進給精度比微米進給螺旋更高。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)與進給絲杠幾乎相同,。它有一個刻度,,所以你可以看到準確的運動量。
它的進給速度也較慢,,因此不適合長行程定位,。
根據(jù)用途選擇導向機構(gòu)與進給機構(gòu)的組合,構(gòu)成雙軸工作臺,。雙軸平臺不僅限于手動操作,;有些平臺還具有驅(qū)動每個軸的電機。
此時,,定位精度由進給機構(gòu)的精度和驅(qū)動電機的分辨率決定,,因此選擇電機的規(guī)格也很重要。一般需要精確定位的地方,,
都會采用伺服電機或者步進電機,。
2軸平臺結(jié)構(gòu)
雙軸平臺通常具有一個底座、一個X軸平臺和一個Y軸平臺,。 Y軸工作臺可相對于底座在Y方向(向前/向后)移動,,
X軸工作臺可相對于Y軸工作臺在X方向(向左/向右)移動。
例如,,若進給機構(gòu)為進給絲杠,,則Y軸進給機構(gòu)的外螺紋安裝在底座上,Y軸進給機構(gòu)的內(nèi)螺紋安裝在Y軸工作臺上,。另外,,
X軸進給機構(gòu)的外螺紋安裝在Y軸平臺上,X軸進給機構(gòu)的外螺紋安裝在X軸平臺上,。
當Y軸進給機構(gòu)使Y軸工作臺相對于底座在Y方向上進行進給時,,X軸工作臺也沿Y方向進行移動,。
當X軸進給機構(gòu)使X軸工作臺相對于Y軸工作臺在X方向上進行進給時,僅X軸工作臺在X方向上移動,。
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