氣體塵埃粒子計數(shù)器校正所需設(shè)備,、基本原理和基本步驟

一,、校正所需設(shè)備

1、100級潔凈房或潔凈臺

2,、一臺用于作對比,，尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器

3、各粒徑的標(biāo)準粒子

4、可產(chǎn)生脫離水（DI水）的純水系統(tǒng)或類似裝置

5,、標(biāo)準粒子氣體產(chǎn)生器

6,、其它普通電器

二、校正的基本原理

標(biāo)準粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,，并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,，這時，將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,，并比校0.3um粒徑的測試值,。如果其平均值在20%以內(nèi)，認為合格,。如果不同型號的粒子計數(shù)器,，一定要弄清楚其流速，取樣時間,，取樣次數(shù)等參數(shù),，并且，還要明白怎樣理解其測試結(jié)果,。

三.,、校正的基本步驟：

現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正

1、首先,，要清楚Royco 323和HH200A有何差別,，其測試原理一樣，但Royco 323流速為1CFM（立方英尺/分鐘）,，而Royco HH200則為0.1CFM,。

2、將潔凈臺開機,，工作半小時,，其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200，讓其預(yù)熱半小時,。

3,、準備好255的取樣器管，并搭接好其所有氣體管路,。

4,、將配好的標(biāo)準液（如0.301um）放入脫原子瓶中，注意勿讓液體超過噴嘴,。

5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)

（1）取樣時間都設(shè)置為00：01：00

（2）取樣次數(shù)都設(shè)置03

（3）取樣模式都設(shè)置為Auto

（4）間隔時間都設(shè)置為00：00：05

（5）讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative

注：以上設(shè)置相同,，因其流速有10倍差,，故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。

6、打開255電源,，調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,，在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn)，干燥氣體流速計約60SCFH時后,，保持其工作狀態(tài),。

7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作,，看其三次的平均結(jié)果,，若在20%以內(nèi)，視為合格,。

8,、拆下脫原子瓶，重新滴入其它標(biāo)準粒子,，重復(fù)該測試,。

9、以上校正只是對比校正,，尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量,，用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。