手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
SMC化學(xué)液用氣控閥JLV系列新品震撼來(lái)襲,！
SMC新推出一款化學(xué)液用氣控閥 JLV系列,，該產(chǎn)品通過(guò)創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，大大降低閥關(guān)閉時(shí)的沖擊，從而有效的抑制了微粒的產(chǎn)生,。閥主體采用高純PFA材質(zhì),，對(duì)應(yīng)高工作壓力及背壓，兼具結(jié)構(gòu)緊湊,、省空間的特點(diǎn),，適用于涂膠顯影、CMP,、清洗,、濕法蝕刻、藥液供給等Wet相關(guān)各個(gè)工藝環(huán)節(jié),，特別是28nm以下對(duì)微粒要求更加嚴(yán)格的工藝制程,。
SMC氣控閥 JLV系列應(yīng)用案例：蝕刻裝置
CMP
涂膠顯影機(jī)
清洗機(jī)
抑制微塵的產(chǎn)生
優(yōu)化先導(dǎo)排氣，降低閥關(guān)閉時(shí)的沖擊力,。
采用耐化學(xué)品性的材質(zhì)
減少安裝空間
對(duì)應(yīng)高壓／高背壓
使用壓力,、背壓范圍擴(kuò)大，共通化,。使用壓力：0～0.5MPa(與以前產(chǎn)品相比最大提高66%）※主體class3的場(chǎng)合背壓：0～0.5MPa(與以前產(chǎn)品相比最大提高150%）
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品,，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體,、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問(wèn)題,，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購(gòu)中心