1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng),，軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度；
2.往復(fù)裝置的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位精度,；
3.正弦波激振和脈激振中振動(dòng)測(cè)量；
4.機(jī)器零部件相對(duì)振動(dòng)相對(duì)變形,；
5.盤類零件的端面振擺,；
6.軸承間隙和油膜厚度；
7.檢測(cè)零部件尺寸和平直度,；
8.線切割機(jī)床電極絲的振動(dòng),；
9.機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量；
10.也可用于金屬導(dǎo)體之外的絕緣物體（如大理石,、塑料,、砂輪、玻璃、陶瓷等）的振動(dòng),、位移測(cè)量,。
規(guī)格參數(shù)：
量程范圍：6mm、10mm,、20mm,、50mm、 60mm,、100mm,、200mm、400mm,、500mm,、600mm、1000mm,、2000mm,、5000mm、6000mm,、10000mm等,；
分 辨 率：0.01% FSO
頻響范圍：7500Hz
非 線 性：±0.25%FSO
輸出信號(hào)：0—±5.0V
零漂：≤±0.25%FSO
供電電源：±15V
外形尺寸：190mm×120mm×80mm
使用方法:
靜態(tài)位移測(cè)量
1.頻率校準(zhǔn)
接好連接線，將電極板接入傳感器探頭,，并使之遠(yuǎn)離物體,，按下“校準(zhǔn)”鍵，這時(shí)有電壓輸出,，預(yù)熱20分鐘,，調(diào)節(jié)“調(diào)零”旋扭，使輸出回到零點(diǎn),。
2.安裝傳感器,，調(diào)整初始間隙，進(jìn)行測(cè)量
按下測(cè)量鍵,，將傳感器借助彈性?shī)A套安裝到磁表座（或用戶自備夾具）上,，使測(cè)量電極板端面接近被測(cè)物體的表面，平面或圓柱面,，盡可能平行,，球面盡可能對(duì)中，調(diào)整時(shí)有“+”電壓輸出,，反時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母,，使測(cè)量間隙逐漸增加，輸出電壓會(huì)逐漸接近零點(diǎn),，借助“調(diào)零”旋扭細(xì)調(diào),，使輸出,，為0，調(diào)整時(shí)有“—”電壓輸出,，順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)微調(diào)螺母,，使測(cè)量間隙逐漸減小，輸出電壓會(huì)逐漸接近零點(diǎn),，測(cè)量即可開始,。測(cè)量時(shí)，被測(cè)物體表面接近傳感器,，測(cè)量間隙減小,，表示被測(cè)尺寸增加，輸出為“+”電壓,，反之輸出為“—”電壓,，儀器輸出的“+、—”電壓就是相對(duì)應(yīng)量程的靜態(tài)位移,。
3.與儀表連接
儀器兩種量程的滿量程電壓輸出是0~±5.0V（線性區(qū)）,，可與高輸入阻抗儀表（計(jì)算機(jī)、電壓表,、示波器,、頻率計(jì)、FFT波形分析處理等）連接,。
振動(dòng)測(cè)量
儀器測(cè)量振動(dòng)位移時(shí),，其方法基本同靜態(tài)位移測(cè)量相似，其初始間隙的調(diào)整可在被測(cè)物體啟動(dòng)前進(jìn)行,，也可在啟動(dòng)后進(jìn)行,，被測(cè)物體啟動(dòng)后，儀器輸出有直流電壓和交流電壓,。直流電壓是物體啟動(dòng)后的浮動(dòng)位移,，屬靜態(tài)位移；交流電壓是物體啟動(dòng)后的相對(duì)應(yīng)量程的振動(dòng)位移,。直流電壓分量與交流電壓分量無關(guān)。如果直流電壓遠(yuǎn)離零點(diǎn),，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母,，使輸出回到零點(diǎn)附近，以振動(dòng)測(cè)量有滿量程的線性工作范圍,。

電容位移傳感器