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在等離子除膠技術(shù)中，等離子體激發(fā)與表面改性的協(xié)同作用是去除材料表面膠質(zhì)的關(guān)鍵所在,。
等離子體激發(fā)是等離子除膠的基礎(chǔ),。通過高頻交流電源在真空環(huán)境中產(chǎn)生電弧放電，使氣體（如氧氣,、氮?dú)猓╇婋x形成等離子體,。等離子體包含自由電子、正離子以及中性粒子,，具有較高的能量密度和反應(yīng)活性,。這些高能粒子在電場(chǎng)作用下，對(duì)材料表面進(jìn)行轟擊,。物理轟擊作用使膠質(zhì)物質(zhì)受到?jīng)_擊和振動(dòng),，破壞其與基材之間的結(jié)合力,，讓膠質(zhì)變得松散，部分膠質(zhì)直接從表面脫落,。
表面改性則是等離子除膠的核心效果,。等離子體中的活性粒子（如氧原子）與膠質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。例如,，氧原子與有機(jī)膠質(zhì)反應(yīng)生成可揮發(fā)性的氣體（如一氧化碳,、二氧化碳和水），這些氣體隨后被真空泵抽走,，實(shí)現(xiàn)膠質(zhì)的去除,。同時(shí)，等離子體的轟擊會(huì)在材料表面產(chǎn)生大量的懸掛鍵和活性位點(diǎn),，增強(qiáng)表面的化學(xué)反應(yīng)活性,。活性粒子與材料表面發(fā)生反應(yīng),，形成新的化合物層或改變?cè)械幕瘜W(xué)結(jié)構(gòu),，進(jìn)一步促進(jìn)膠質(zhì)的分解和去除。
等離子體激發(fā)與表面改性相互協(xié)同,，共同實(shí)現(xiàn)高效的除膠效果,。等離子體激發(fā)為表面改性提供了必要的能量和反應(yīng)環(huán)境，使表面改性反應(yīng)能夠順利進(jìn)行,；而表面改性則通過化學(xué)反應(yīng)將膠質(zhì)轉(zhuǎn)化為可揮發(fā)性氣體,，實(shí)現(xiàn)膠質(zhì)的去除，同時(shí)改善材料表面的性能,。這種協(xié)同作用使得等離子除膠技術(shù)具有高效,、環(huán)保、對(duì)材料損傷小等優(yōu)點(diǎn),，在半導(dǎo)體制造,、精密電子元件清洗、醫(yī)療器械清洗等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,。
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