真空高低溫探針臺

天恒科儀HCP系列真空高低溫探針臺專為半導體,、光電子,、量子材料及新型器件研發(fā)設計,。

通過緊湊型結(jié)構(gòu)（寬800mm×深800mm×高1300mm）與模塊化功能集成,，實現(xiàn)從極低溫（10K/-263℃）到高溫（1700K/1427℃）的全溫區(qū)精準控制,，兼容高真空（1×10?? mbar）,、多維度電學/光學測量,，為科研與工業(yè)提供高效,、穩(wěn)定的測試平臺,。

天恒科儀-真空高低溫探針臺

HORIZON TECHNOLOGY

溫控控制模塊

制冷模式：HCP-O-2/4采用液氮/液氦開循環(huán)制冷（10K），HCP-C-2/4采用閉循環(huán)電驅(qū)動壓縮制冷（42K）,，滿足不同實驗成本與效率需求,。 

高溫能力：雙型號均支持300K（27℃）至1700K（1427℃）控溫,，覆蓋材料相變、器件老化等測試場景,。 

控溫精度：單/雙/四通道PID控溫,，穩(wěn)定性達±0.1K，確保實驗重復性,。 

真空系統(tǒng)

腔體性能：25L容積,，極限真空度1×10?? mbar（1×10?? Pa），配備100mm高透光紅外隔熱視窗,，支持光學實時觀測,。

防輻射設計：200mm無氧銅屏蔽層，有效抑制熱輻射干擾,。 

機械與測量模塊

樣品臺： 

兼容性：HCP-O-2/4支持Φ2/4英寸樣品,，HCP-C-2/4支持Φ1/2英寸樣品，材質(zhì)為無氧銅鍍金,，浮地懸空設計,，避免接地噪聲。 

調(diào)節(jié)精度：X-Y-Z軸行程75mm×50mm×50mm,，定位精度1微米,，水平夾角調(diào)節(jié)±10°（精度0.01°），適配納米級器件測試,。 

光學系統(tǒng)

顯微成像：180X/500X/1000X光學倍率,，分辨率1μm，搭配1920×1080P工業(yè)相機,，支持微觀形貌實時記錄,。  

擴展功能

磁場加載：支持±1T外加磁場，適用于自旋電子學,、超導材料研究,。

熱沉設計：8級管三位一體熱沉結(jié)構(gòu)，優(yōu)化樣品溫度均勻性,。  

多場景適配：真空波紋管+線性微調(diào)結(jié)構(gòu),，探針座支持低頻（10pA同軸精度）、高頻（DC-1100GHz）,、大功率（10kV/1500A）及光波（紫外-紅外）測量,，覆蓋全頻段需求。

HORIZON TECHNOLOGY

半導體器件可靠性測試

高溫老化實驗：功率器件（SiC,、GaN）在1700K下的IV特性與失效分析,。 

低溫輸運研究：量子點、二維材料在10K下的載流子遷移率與霍爾效應測量,。 

光電子材料表征

光譜響應：鈣鈦礦太陽能電池在紫外-紅外波段的光電轉(zhuǎn)換效率分析,。 

高頻性能驗證：微波濾波器、射頻放大器的S參數(shù)測試（DC-1100GHz）,。 

前沿材料物性探索

超導臨界溫度：銅氧化物超導體的電阻-溫度（R-T）曲線測定,。 

拓撲絕緣體：表面態(tài)電導的量子化行為研究（需±1T磁場環(huán)境）。 

HORIZON TECHNOLOGY

產(chǎn)品差異化優(yōu)勢

緊湊高效：一體式防震臺設計,，重量100-150kg,，占地面積僅0.64m2，適配實驗室空間限制,。 

靈活配置：支持探針數(shù)量,、真空視窗類型（如紅外/可見光）、控溫通道數(shù)等定制化需求,。

數(shù)據(jù)精準：電學測量電流分辨率達100fA（三軸）,，光學定位精度1μm，滿足高靈敏度實驗要求,。