1. 儀器準備

• 開機前檢查：確保氬氣、氦氣供應充足,，冷卻水循環(huán)正常,，通風系統(tǒng)開啟，真空泵運行穩(wěn)定,。
• 開啟設備：依次打開電源,、循環(huán)冷卻水、氣體閥門,，啟動計算機并運行ICP-MS控制軟件,。

2. 儀器預熱與調(diào)諧

• 預熱：儀器啟動后需預熱至少30分鐘，確保等離子體穩(wěn)定,。
• 調(diào)諧：使用調(diào)諧液（如Li,、Y,、Ce,、Tl、Co混合溶液）進行儀器調(diào)諧,，優(yōu)化靈敏度,、氧化物和雙電荷離子產(chǎn)率等參數(shù)，確保儀器性能達到最佳狀態(tài)。

3. 樣品準備

• 樣品處理：樣品需為稀酸水溶液（如2% HNO?）,，避免含氫氟酸,、有機物和顆粒物。固體樣品需通過消解等方法轉化為液態(tài),。
• 稀釋：未知濃度樣品需稀釋至合適范圍（如100 ppb以下）,，避免污染檢測器。

4. 標準溶液與內(nèi)標準備

• 標準溶液：根據(jù)分析元素范圍,，配制0.1 ppb至50 ppb的標準溶液,，用于建立校準曲線。
• 內(nèi)標溶液：選擇與待測元素電離特性相似的內(nèi)標元素（如In,、Bi,、Rh），校正基體效應和信號漂移,。

5. 樣品分析

• 設置參數(shù)：在軟件中設定分析方法,，包括元素列表、積分時間,、采樣深度等,。
• 進樣分析：將樣品置于自動進樣器，啟動分析序列,。觀察等離子體狀態(tài),，確保穩(wěn)定運行。
• 數(shù)據(jù)采集：儀器自動采集離子信號,，生成質(zhì)譜圖,。

6. 數(shù)據(jù)處理與報告

• 數(shù)據(jù)處理：使用軟件進行背景扣除、定量分析,，生成校準曲線并計算樣品濃度,。
• 結果驗證：通過加標回收、平行樣分析等方法驗證結果準確性,。
• 報告生成：整理樣品信息,、實驗條件、分析結果及質(zhì)量控制數(shù)據(jù),，生成報告,。

7. 儀器維護

• 關機：分析完成后，用去離子水沖洗系統(tǒng),，關閉等離子體,、氣體和冷卻水，最后關閉電源,。
• 日常維護：定期清洗霧化器,、更換泵管,，檢查氣體純度和冷卻水水質(zhì)，確保儀器長期穩(wěn)定運行,。