搭載液體噴嘴和載氣噴嘴的雙流體噴嘴結構高效率汽化器,。

液體噴嘴和載氣噴嘴（0.05~4SLM）的雙流體噴嘴在汽化室前匯合,，以精細地噴灑液體。被微小霧化的液體可以通過輻射熱被高效汽化,。

汽化室頂部的液體控制閥通過接收液體質量流量計(LM-3000L)的流量信號來調節(jié)閥門開度。通過控制流量,，可以實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化供給,。

LINTEC林泰克電磁控制閥小型汽化器VU-430
高效率汽化器VU-430

特點

  • 高效率汽化

  • 維護成本低

  • 汽化室附近搭載液體流量控制閥

使用范例

低蒸氣壓材料的汽化

該汽化器搭載最高溫度為200℃的耐熱結構和雙流體噴嘴，即使是Low-K(低介電常數(shù)材料),、High-k(高介電常數(shù)材料)和各種低蒸氣壓的金屬材料,，也能實現(xiàn)高效且穩(wěn)定的液體汽化供應,。通過將加熱模塊的溫度調節(jié)分為側面和底部，可以實現(xiàn)精確的溫度控制,。即使是容易發(fā)生熱變性的材料,，也可以實現(xiàn)精細的溫度控制。

規(guī)格表

最高溫度載氣流量最大H2O汽化流量最大TEOS汽化流量密封件
200℃0.05~4SLM1.0g/min10g/minAu

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