搭載液體質(zhì)流傳感器并內(nèi)置壓電控制閥的高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)流控制器,。

該產(chǎn)品標(biāo)配液體用流量傳感器與高性能壓電控制閥,。通過(guò)使用液體質(zhì)流傳感器測(cè)量當(dāng)前流量，并反饋控制壓電閥的開(kāi)度,，從而實(shí)現(xiàn)高速的且自動(dòng)地控制液體質(zhì)量流量,。

通過(guò)使用液體質(zhì)量流量傳感器測(cè)量電流質(zhì)量流量并反饋控制壓電閥的打開(kāi)，可以高速自動(dòng)控制液體質(zhì)量流量,。

　　　　LC-3000L

特點(diǎn)

  • 微小流量液體控制

  • 精度范圍±1%F.S.

  • 無(wú)塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

  • RS-485數(shù)字通訊接口

使用范例

無(wú)脈動(dòng)的微小流量連續(xù)控制

計(jì)量泵是一種方便的產(chǎn)品,，可以流動(dòng)一定量的液體，但它具有引起脈沖的運(yùn)動(dòng)部件,。采用LINTEC的液體質(zhì)量流量控制器,，若以適當(dāng)且恒定的壓力加壓，則可實(shí)現(xiàn)無(wú)脈沖且穩(wěn)定的流量控制,。

輸出端為真空設(shè)備下的液體控制

如果輸出端處于真空條件下,，用容積式控制器測(cè)量液體會(huì)逸出，從而難以控制流速,。LINTEC的液體質(zhì)流控制器（LC-3000系列）集成了控制閥和質(zhì)流傳感器,，不受輸出端壓力影響，可在適當(dāng)?shù)膲翰顥l件下控制流量,。

規(guī)格表

型號(hào)溫度所需壓差精度最小F.S.最大F.S.
LM-3102L15~35℃50~300kPa±1.0%F.S.0.1g/min1.0g/min
LM-3202L20~30℃50~300kPa±1.0%F.S.
~2.0g/min
LM-3702L15~35℃50~300kPa±2.0%F.S.
~30g/min

※此表僅表示一般規(guī)格的液體用MFC,。
※F.S.根據(jù)液體種類(lèi)不同而變化。詳細(xì)請(qǐng)咨詢(xún)LINTEC,。