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分子泵機(jī)組MPU-90i的安裝流程與注意事項(xiàng),，可以參考以下內(nèi)容：
安裝流程
1.開箱檢查：雙手用力抬出分子泵機(jī)組,，檢查設(shè)備在運(yùn)輸過程中有無損壞。
2.準(zhǔn)備工作：將設(shè)備的電源線接好,，并將地線與設(shè)備機(jī)殼連接,。如果是三相供電方式，初次通電時(shí)需要觀察機(jī)械泵的相序,，確保機(jī)械泵相序正常,。
3.設(shè)備安裝：
分子泵機(jī)組應(yīng)安裝在平地上，豎直方向與垂直方向夾角應(yīng)小于5度,。
安裝后要固定腳輪,，確保機(jī)組穩(wěn)固。
4.連接部位檢查：真空系統(tǒng)各連接部位應(yīng)密封可靠,，確保無泄漏發(fā)生,。
5.水路系統(tǒng)檢查：水路系統(tǒng)接頭處應(yīng)無滴漏，同時(shí)確認(rèn)入口水壓,、水溫及水質(zhì)是否滿足要求,。
6.氣體排放：建議將機(jī)械泵排出的氣體引出室外，以確保工作環(huán)境的安全,。
7.電纜安裝：正確插入電纜,，并用螺母擰緊，確保連接到位,。
8.啟動(dòng)前檢查：
確認(rèn)分子泵安裝穩(wěn)妥,，電纜線正確連接并鎖緊。
檢查真空度和冷卻水狀況,。
進(jìn)行必要的對(duì)中檢查和調(diào)整,。
9.啟動(dòng)機(jī)組：按照操作手冊(cè)的指示，啟動(dòng)分子泵機(jī)組,，并監(jiān)控其運(yùn)行狀態(tài),。
注意事項(xiàng)
1.安全防護(hù)：
在安裝和操作過程中,，務(wù)必佩戴適當(dāng)?shù)陌踩雷o(hù)裝備,，如手套、護(hù)目鏡等,。
確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝,，特殊情況下應(yīng)定做特殊防護(hù)網(wǎng),。
2.振動(dòng)與沖擊防護(hù)：
分子泵振動(dòng)極小，可直接接于被抽系統(tǒng),。對(duì)于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡）,，建議使用隔振器以減少振動(dòng)。
避免對(duì)分子泵產(chǎn)生強(qiáng)烈的沖擊或振動(dòng),，以防損壞設(shè)備,。
3.磁場(chǎng)屏蔽：
分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，應(yīng)確保徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不大于規(guī)定值（如30Gs）,。
若磁場(chǎng)強(qiáng)度超標(biāo),，應(yīng)使用導(dǎo)磁材料進(jìn)行屏蔽。
4.電源與電氣連接：
確保電源電壓穩(wěn)定且符合設(shè)備要求,。
電氣連接應(yīng)牢固可靠,，避免松動(dòng)或接觸不良。
5.操作與維護(hù)：
遵循操作手冊(cè)的指示進(jìn)行操作和維護(hù),。
定期檢查真空度,、冷卻水狀況以及電纜連接情況。
若發(fā)現(xiàn)異常情況或故障,，應(yīng)立即停機(jī)并尋求專業(yè)維修服務(wù),。
6.環(huán)境要求：
安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。
避免將分子泵安裝在高溫,、潮濕或腐蝕性氣體環(huán)境中,。
7.啟動(dòng)與停機(jī)：
在啟動(dòng)分子泵前，應(yīng)確保連接無誤,、無泄漏,、冷卻和潤(rùn)滑正常。
停機(jī)時(shí),，應(yīng)先給出停機(jī)指令,，待分子泵減速結(jié)束并停止后，再關(guān)閉電源,。
分子泵機(jī)組MPU-90i的安裝流程包括開箱檢查,、準(zhǔn)備工作、設(shè)備安裝,、連接部位檢查,、水路系統(tǒng)檢查、氣體排放,、電纜安裝,、啟動(dòng)前檢查和啟動(dòng)機(jī)組等步驟。在安裝過程中,，應(yīng)注意安全防護(hù),、振動(dòng)與沖擊防護(hù),、磁場(chǎng)屏蔽、電源與電氣連接,、操作與維護(hù)以及環(huán)境要求等方面的事項(xiàng),。
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