砷化氫（AsH?）0-1ppm（高毒）
確定量程范圍
（1）爆炸性氣體（LEL檢測）

適用氣體：可燃?xì)怏w（如硅烷,、氫氣等）。

量程設(shè)置：

0-100% LEL（常規(guī)安全監(jiān)測）,。

0-10% LEL（高靈敏度預(yù)警）,。

超過100% LEL（需稀釋或使用NDIR/熱導(dǎo)檢測）。

（2）劇毒氣體（ppm/ppb級(jí)檢測）

適用氣體：高毒性氣體（如砷化氫,、光氣,、氟氣等）。

量程設(shè)置：
砷化氫（AsH?）的TWA=0.05 ppm,，量程設(shè)為0-1 ppm。

職業(yè)健康標(biāo)準(zhǔn)（OEL）：如TWA（8小時(shí)均值）,、STEL（短時(shí)暴露限值）,。

惰性/特殊氣體（體積濃度或高純度檢測）
適用氣體：六氟化硫（SF?）、氦氣（He）,、氬氣（Ar）等,。

量程設(shè)置：泄漏檢測：0-1000 ppm（如SF?檢漏）


校準(zhǔn)與驗(yàn)證

• 標(biāo)準(zhǔn)氣體：必須使用已知濃度的特氣標(biāo)準(zhǔn)氣校準(zhǔn)（如5 ppm PH?平衡氮?dú)猓?/span>

• 零點(diǎn)校準(zhǔn)：在純凈空氣或高純氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行。

特殊案例

（1）硅烷（SiH?）

• 爆炸風(fēng)險(xiǎn)：LEL=1.5%,，自燃溫度<54℃,。

• 量程建議：

• 安全監(jiān)測：0-2% vol。

• 微量泄漏：0-50 ppm（電化學(xué)或NDIR）,。

（2）磷化氫（PH?）

• 劇毒：TWA=0.3 ppm,，IDLH=50 ppm。

• 量程建議：

• 常規(guī)監(jiān)測：0-10 ppm（電化學(xué)）,。

• 高濃度預(yù)警：0-100 ppm（PID或NDIR）,。

（3）六氟化硫（SF?）

• 溫室氣體：需檢測微量泄漏。

• 量程建議：

• 檢漏模式：0-100 ppm（NDIR）,。
  總結(jié)：需具體情況具體分析,，結(jié)合各氣體的氣體性質(zhì)，尋求合適的傳感器來設(shè)
  計(jì)量程范圍