光刻膠溶液和 SOG 中的顆??梢栽?0.1 μm 范圍內(nèi)測量
可連接到多點監(jiān)控系統(tǒng)
規(guī)范
光學(xué)系統(tǒng)方式 | 橫向散射法 |
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光源 | 用半導(dǎo)體激光器泵浦的固體激光器(波長 532 nm,,額定功率 500 mW) |
接液部件材料 | 合成石英,,PFA |
粒度分類 | 0.1 μm ~ 0.5 μm 范圍內(nèi)的 10 個級別(可選 0.07 μm,,用于純水等透明液體) 運輸:0.1 μm 或更高,、0.15 μm 或更高,、0.2 μm 或更高,、0.3 5 個 ≥ μm 和 ≥ 0.5 μm 的水平 |
額定流量 | 5 毫升/分鐘 |
最大顆粒計數(shù)濃度 | 9,600 單位/mL(計數(shù)丟失在 10% 以內(nèi)) |
權(quán)力 | DC12 V(由 KE-40B1 供電) |
大小 | 約 164 毫米(水平)× 464 毫米(寬)× 305 毫米(深)毫米(不包括突出部分) |
重量 | 約 12.5 kg |
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