錫球在芯片封裝中承擔(dān)電信號連接作用，被廣泛應(yīng)用于BGA,、CSP等微電子封裝領(lǐng)域,。隨著芯片尺寸的減小及功能需求的增加,，芯片對錫球材料、球徑,、高度及共面度等指標(biāo)要求日趨嚴(yán)格,。為降低后道封裝成本，通常需要借助高精度的光學(xué)精密測量設(shè)備對芯片上錫球良率進(jìn)行測量分析,。

1 測量需求

錫球三維表面形貌和瑕疵檢測,，測量錫球高度、圓度和直徑等關(guān)鍵指標(biāo),。

2 測量方案

測試方法：垂直于機(jī)臺采集掃描晶圓點(diǎn)云,，通過后處理測量軟件，獲取錫球三維表面形貌與瑕疵,，計(jì)算錫球高度和共面標(biāo)準(zhǔn)差,，生成測試分析報(bào)告。

3 測量結(jié)果

3D線光譜共焦傳感器將掃描獲取到的點(diǎn)云數(shù)據(jù),，實(shí)時(shí)傳輸至后處理軟件,，并在界面上呈現(xiàn)出已掃描區(qū)域的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，通過3D視圖窗口可查看錫球的三維表面形貌,。

結(jié)合產(chǎn)品特點(diǎn)及客戶的檢測需求,，我們可通過提取樣品全部錫球數(shù)據(jù)，計(jì)算各錫球?qū)嶋H高度,、圓度和直徑,，也可以最大值、最小值和均值等方式進(jìn)行統(tǒng)計(jì),，計(jì)算錫球的高度標(biāo)準(zhǔn)偏差,。

超高分辨、亞微米級高精度,，誤檢率低,；

同軸光測量，不受光強(qiáng)和被測物表面材質(zhì)影響,，無測量盲區(qū),；

軟硬件一體化,，支持多型號和多檢測場景，幫助降低生產(chǎn)成本,。