特點

• 控制精度高：線性度可達 ±0.3% F.S.,，磁滯為 0.5% F.S.,，能實現(xiàn)精確的壓力控制6。

• 響應速度快：響應性為 0.2sec,，可快速響應控制信號的變化,，及時調(diào)整輸出壓力6。

• 功能豐富：具有壓力顯示,、錯誤顯示功能和直接記憶功能等,。配備數(shù)字顯示屏，控制狀態(tài)一目了然,。還支持 IO - Link 通信,，除數(shù)據(jù)收集外，還可從頂部進行遠程控制,，便于監(jiān)控運行狀態(tài)6,。

• 適用范圍廣：適用于潔凈壓縮空氣（ISO1.3.2）。EVD-1500-008AN 采用禁油規(guī)格和不銹鋼閥體,，適用于半導體制造裝置或液晶制造裝置使用的清潔空氣,、N?的壓力控制，也適合空氣（N?）吹氣45,。

• 低壓控制性能好：EVD-1500-008AN 設定壓力為低壓用時 0.01?0.2MPa,，標準時 0.02?0.5MPa，靈敏度為 0.001MPa,。采用特殊膜片結(jié)構(gòu),，實現(xiàn)了低壓范圍內(nèi)的高靈敏度調(diào)整4。

技術參數(shù)

• 電源電壓：DC24V±10％（脈動率 1% 以下的穩(wěn)定化電源）5,。

• 輸入信號：輸出精度 ±6% 滿刻度以下,，模擬輸出 1－5VDC（連接負荷阻抗 500kΩ 以上）5。

• 最高使用壓力：700kPa 或 1000kPa5,。

• 壓力控制范圍：0～500kPa 或 0～900kPa5,。

• 耐振動性：98m/s2 以下5。

• 使用環(huán)境溫度：5～50℃5,。

• 配管接管口徑：Rc1/45,。

• 保護回路：有電源逆接保護、開關輸出逆接保護,、開關輸出負荷短路保護5,。

應用