ULVAC愛發(fā)科NRL180A干式真空泵

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化,。除PVD工藝外,,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣,。
低噪音,、低振動(dòng)
優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理,降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度,。
選購(gòu)件
可選購(gòu)消音器,、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器,。
• 活性氣體(CVD,、刻蝕等)。
• 排出非活性氣體(濺射鍍膜,、 蒸氣鍍膜,、熱處理、液晶注入等),。
• 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
• 作為前級(jí)泵使用(渦輪式分子泵,、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵)。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣,。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
- 特長(zhǎng)
用途
相關(guān)產(chǎn)品
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