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德國馬爾薄膜測厚儀的結(jié)構(gòu)組成和優(yōu)點(diǎn)
德國馬爾薄膜測厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的,，上下的兩個(gè)傳感器分別測量被測體上表面的位置和下表面的位置,，通過計(jì)算得到被測體的厚度,。德國馬爾薄膜測厚儀的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測量,，相對(duì)接觸式測厚儀更精準(zhǔn)，不會(huì)因?yàn)槟p而損失精度,。相對(duì)超聲波測厚儀精度更高,。相對(duì)X射線測厚儀沒有輻射污染。
德國馬爾薄膜測厚儀是基于三角測距原理,，使用集成式的三角測距傳感器測量出從安裝支架到物體表面的距離,，進(jìn)而根據(jù)支架的固定距離計(jì)算得出物體的厚度。
激光束在被測物體表面上形成一個(gè)很小的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏面上,產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號(hào),。當(dāng)被測物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地其像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,進(jìn)而可計(jì)算出被測物體的實(shí)際移動(dòng)距離,。
兩個(gè)激光位移傳感器的激光對(duì)射，被測體放置在對(duì)射區(qū)域內(nèi),，根據(jù)測量被測體上表面和下表面的距離,，計(jì)算出被測體的厚度。
德國馬爾薄膜測厚儀的基本組成是激光器,、成像物鏡,、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)測量結(jié)果顯示系統(tǒng),。激光束在被測物體表面上形成一個(gè)亮的光斑,，成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上，產(chǎn)生探測其敏感面上光斑位置的電信號(hào),。當(dāng)被測物體移動(dòng)時(shí),，其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變，相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,，兩者之間的關(guān)系：
測厚計(jì)算公式
式中：
X,、X`——分別是被測物位移和光敏器件上像斑的位移；
L,、L`,、α——是系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)參數(shù),是根據(jù)具體使用要求而選定的。
由此可見精確地測量X`就可以得到被測物體的位移量,，這就是三角法測量位移的原理,。
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