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百級(jí)潔凈工作臺(tái)塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)詳情

來(lái)源:蘇州芯矽電子科技有限公司   2025年04月01日 09:50  

大家知道,既然是百級(jí)潔凈工作臺(tái),,大家對(duì)于塵埃粒子這塊很看重,。國(guó)家為此也制定了相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn),那么,,你們知道百級(jí)潔凈工作臺(tái)塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是什么嗎,?

百級(jí)潔凈工作臺(tái)塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)一覽

一,、標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)

主要參照標(biāo)準(zhǔn)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):如ISO 14644 - 1等系列標(biāo)準(zhǔn),,對(duì)不同潔凈度級(jí)別下的塵埃粒子數(shù)量有明確規(guī)定,。對(duì)于百級(jí)潔凈工作臺(tái),該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子的數(shù)量上限,,確保工作環(huán)境的高度潔凈,。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn):例如我國(guó)的GB 50073 - 2013《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),也對(duì)潔凈工作臺(tái)的塵埃粒子數(shù)量做出了具體規(guī)定,,保證了在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)環(huán)境中的潔凈度要求,。

標(biāo)準(zhǔn)的目的和意義

這些標(biāo)準(zhǔn)旨在統(tǒng)一潔凈工作臺(tái)的性能評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),確保其能有效控制塵埃粒子濃度,,為高精密度的實(shí)驗(yàn),、生產(chǎn)等提供合適的環(huán)境。比如在半導(dǎo)體制造中,,一個(gè)微小的塵埃粒子都可能影響芯片的質(zhì)量和性能,,所以嚴(yán)格的塵埃粒子標(biāo)準(zhǔn)是保證產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵。

二,、具體塵埃粒子數(shù)量標(biāo)準(zhǔn)

每立方米空氣中≥0.5μm塵粒數(shù)

對(duì)于百級(jí)潔凈工作臺(tái),,每立方米空氣中≥0.5μm的塵粒數(shù)應(yīng)不超過(guò)352000個(gè)。這是考慮到即使在高潔凈環(huán)境下,,也難以消除所有的微小粒子,,但通過(guò)嚴(yán)格控制可以將其數(shù)量限制在一個(gè)極低的水平,以滿(mǎn)足大多數(shù)高精度工作的需求,。

例如,,在一些高精度電子元器件的生產(chǎn)中,對(duì)塵埃粒子的控制要求高,,此標(biāo)準(zhǔn)能夠減少塵埃對(duì)產(chǎn)品的影響,。

每立方米空氣中≥5μm塵粒數(shù)

每立方米空氣中≥5μm的塵粒數(shù)要求為0。這是因?yàn)橄鄬?duì)較大顆粒的塵埃更容易對(duì)精密工作產(chǎn)生干擾,,如在光學(xué)鏡頭制造,、生物樣品處理等過(guò)程中,大顆粒塵??赡軙?huì)導(dǎo)致劃痕,、污染等問(wèn)題,所以必須嚴(yán)格限制其數(shù)量為零,,以確保工作環(huán)境的潔凈,。

三、檢測(cè)方法與合格判定

檢測(cè)方法

通常采用激光粒子計(jì)數(shù)器等專(zhuān)業(yè)設(shè)備進(jìn)行檢測(cè),。檢測(cè)時(shí),,采樣頭位于工作臺(tái)面中心位置上方0.1m處,,以不大于0.3m/s的速度進(jìn)行非定向采樣,采樣時(shí)間根據(jù)設(shè)備而有所不同,,但需滿(mǎn)足最小采樣量的要求,。

例如,對(duì)于小型潔凈工作臺(tái),,可能需要在多個(gè)位置進(jìn)行多次采樣,,以確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和代表性。

合格判定

若檢測(cè)結(jié)果顯示每立方米空氣中≥0.5μm和≥5μm塵埃粒子數(shù)量均符合上述標(biāo)準(zhǔn),,且連續(xù)檢測(cè)三次的結(jié)果穩(wěn)定,,則判定該潔凈工作臺(tái)的塵埃粒子控制符合百級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。

如果有一項(xiàng)或多項(xiàng)指標(biāo)超出標(biāo)準(zhǔn),,則判定為不合格,,需要對(duì)潔凈工作臺(tái)進(jìn)行檢查和調(diào)整,如更換過(guò)濾器,、檢查密封情況等,,然后重新檢測(cè),直至合格為止,。

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