burkert寶德熱式氣體質(zhì)量流量控制器20001534相關(guān)介紹

8742型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*100nl/min,N?,鋁基座,G1/4寸,標定壓力2bar,4-20mA

控制器| N2 | 10000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | 4- 20ma

熱式氣體質(zhì)量流量控制器（Thermal Mass Flow Controller, TMFC）是一種基于熱傳導原理實現(xiàn)氣體質(zhì)量流量精準控制的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導體制造,、化工,、實驗室等領(lǐng)域。其核心優(yōu)勢在于不依賴溫度和壓力變化,，直接測量質(zhì)量流量,。

工作原理

熱平衡原理

核心組件：

加熱絲：由鉑鎢合金制成，通電后產(chǎn)生恒定熱量,。

溫度傳感器（如鉑電阻）：檢測加熱絲周圍溫度變化,。

流體通道：氣體流動帶走加熱絲的熱量，導致溫度下降,。

氣體流量越大,，帶走的熱量越多，需增加功率維持溫度恒定,。通過測量功率變化即可推算流量,。

閉環(huán)控制

PID算法：實時比較設(shè)定流量與實際流量，調(diào)整閥門開度（如電磁閥或壓電閥）,。

響應(yīng)時間：<50ms（優(yōu)于壓差式流量計）,。

結(jié)構(gòu)特點

傳感器設(shè)計

毛細管繞絲：加熱絲和溫度傳感器纏繞在毛細管上，增大熱接觸面積,。

雙元件補償：采用兩個對稱的傳感器,，消除環(huán)境溫度干擾,。

流量控制閥

電磁閥：適用于大流量范圍（如0-100 SLM）。

壓電閥：無機械運動部件,，響應(yīng)快（<10ms）,，適用于小流量（如0-10 SCCM）。

電子控制單元

微處理器：執(zhí)行PID計算,、線性化修正和通信協(xié)議（如RS-485,、Modbus）。

數(shù)字界面：支持本地顯示和遠程監(jiān)控（如流量設(shè)定,、報警輸出）,。

技術(shù)優(yōu)勢

高精度與穩(wěn)定性

精度：±1% FS（滿量程），重復性<0.2% FS,。

溫壓補償：內(nèi)置壓力傳感器和溫度傳感器,，自動修正環(huán)境參數(shù)影響。

寬量程與多氣體兼容

量程范圍：覆蓋μSLM（微升/分鐘）至數(shù)百SLM（標準升/分鐘）,。

氣體兼容性：支持N?,、Ar、O?等常見氣體,，通過軟件校準切換氣體類型,。

低維護性

無活動部件（壓電閥除外），壽命>5年,。

自診斷功能：監(jiān)測傳感器污染,、閥門堵塞等故障。

典型應(yīng)用場景

半導體制造

工藝氣體控制：如CVD（化學氣相沉積）中的硅烷（SiH?）流量控制,。

真空系統(tǒng)：監(jiān)測氬氣（Ar）在刻蝕工藝中的使用量,。

化工與實驗室

反應(yīng)釜進氣控制：精確配比反應(yīng)氣體（如H?/O?）。

氣相色譜儀（GC）：作為載氣（如He,、N?）的流量控制單元。

生物醫(yī)藥

發(fā)酵罐通氣控制：調(diào)節(jié)氧氣（O?）和二氧化碳（CO?）流量,，優(yōu)化細胞培養(yǎng)環(huán)境,。

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