burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析

8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器*50nl/min95%Ar+5%H2,標(biāo)定壓力4bar,鋁基座,G1/4寸,PROFINET

控制器| 95% Ar + 5% H2 | 5000nl /min | 24v DC |內(nèi)螺紋- G1/4" | PROFINET

熱式氣體質(zhì)量流量控制器是一種基于熱傳導(dǎo)原理,，通過測量氣體流動時帶走熱量的變化來精確控制氣體流量的設(shè)備,。其核心優(yōu)勢在于不受溫度,、壓力變化影響,，可直接測量質(zhì)量流量,，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、新能源,、環(huán)保、科研,、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域,。以下是其技術(shù)原理、行業(yè)應(yīng)用及選型要點的詳細(xì)解析：

技術(shù)原理與核心優(yōu)勢

工作原理

熱式傳感器：內(nèi)置加熱元件和測溫元件,，當(dāng)氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走,，測溫元件檢測溫度變化（ΔT）,。

流量計算：通過ΔT與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系，結(jié)合PID控制算法,，實時調(diào)節(jié)閥門開度,，實現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

技術(shù)優(yōu)勢

高精度：誤差通?！?plusmn;1% F.S.,，重復(fù)性達±0.2% F.S.。

寬量程比：支持1:50至1:100的流量范圍,。

快速響應(yīng)：響應(yīng)時間＜300 ms,，適用于動態(tài)調(diào)節(jié)場景。

環(huán)境適應(yīng)性強：不受溫度,、壓力波動影響,，適合復(fù)雜工況。

行業(yè)應(yīng)用與典型案例

半導(dǎo)體制造

應(yīng)用場景：晶圓清洗,、氣相沉積（CVD）,、刻蝕工藝中的氣體輸送控制。

案例：在CVD工藝中,，TMFC精確控制硅烷（SiH?）流量,，確保薄膜均勻性，良率提升15%,。

新能源

氫能系統(tǒng)：燃料電池中氫氣流量控制,，確保反應(yīng)效率與安全。

光伏設(shè)備：監(jiān)測冷卻氣體流量,，優(yōu)化電池生產(chǎn)效率,。

科研實驗

實驗室應(yīng)用：催化劑評價、氣相色譜載氣控制、細(xì)胞培養(yǎng)氣體配比,。

案例：在合成新化合物實驗中,，TMFC穩(wěn)定控制反應(yīng)氣體流量，數(shù)據(jù)可靠性提升90%,。

選型關(guān)鍵參數(shù)

流量范圍：根據(jù)工藝需求選擇量程,。

精度與重復(fù)性：科研/半導(dǎo)體領(lǐng)域優(yōu)先選±0.5% F.S.精度。

響應(yīng)時間：動態(tài)調(diào)節(jié)場景需＜100 ms,。

材料兼容性：腐蝕性氣體需選耐腐材質(zhì),。

通信接口：工業(yè)場景推薦CANopen/PROFIBUS DP，實驗室可選模擬信號,。

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)：醫(yī)療設(shè)備需FDA認(rèn)證,，航空航天需FAA/CAAC認(rèn)證。

burkert寶德8741型熱式氣體質(zhì)量流量控制器20000234深度解析