原裝供應(yīng) KOFLOC 科賦樂 質(zhì)量流量計(jì)8900系列
支持15~24VDC寬頻電源
模擬輸出/輸入0-5VDC/4-20mA可選
傳感器 | 熱式繞組傳感器 | |
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閥門 | 電磁比例閥(斷電時(shí) 關(guān)閉) | |
對象氣體 | N2,、Air,、H2,、He,、Ar,、O2,、CO2等 | |
流量范圍(N2換算) | 10SCCM~20SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
響應(yīng)性 | 2sec以內(nèi)(within±2%F.S.) | |
精度 | ±1%F.S.(25℃) | |
溫度系數(shù) | ±0.1%F.S./℃(15~35℃) | |
重現(xiàn)性 | ±0.5%F.S. | |
動(dòng)作壓差 | F.S.≦5SLM 50~300kPa,、F.S.>5SLM 100~300kPa | |
入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
耐圧 | 1MPa(G) | |
He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
允許環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
允許保存溫度 | -10~60℃ | |
允許周圍濕度 | 10~90%RH(未出現(xiàn)冷凝) | |
與氣體接觸的材質(zhì) | SUS316L,SUS316,磁性不銹鋼,FKM(可選:NBR,CR) | |
電気接続 | D-sub9九針 KFC standard(依據(jù)SEMI standard) | |
模擬流量設(shè)定信號 | 0~5VDC(輸入Z,1MΩ以上)or 4~20mA(輸入Z,250Ω) | |
模擬流量輸出信號 | 0~5VDC(負(fù)載電阻250kΩ以上)or 4~20mA(負(fù)載電阻300Ω以下) | |
電源 | +15VDC(±5%)100mA,、-15VDC(±5%)250mA or 24VDC(±10%)450mA | |
外部尺寸 | 寬32mm × 高100mm(包含連接部)× 平面76mm(不包含接頭) | |
接頭(本體口徑) | 標(biāo)準(zhǔn):1/4SWL,、可選:1/8SWL、1/4VCR,、Rc1/4(9/16-18UNF) | |
重量 | 約1,000g |
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