濕電子化學(xué)品 再生光阻洗凈液 - 水分的測定
T/FJAS 002-2024 濕電子化學(xué)品 再生光阻洗凈液
范圍
本文件規(guī)定了再生光阻洗凈液的技術(shù)要求、試驗方法,、檢驗規(guī)則及標(biāo)志,、包裝、運輸和貯存,。
本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含光阻洗凈液回收液為原料,,經(jīng)過提純的光阻洗凈液再生產(chǎn)品(以下簡稱產(chǎn)品),主要用于顯示面板制造行業(yè)等,。
術(shù)語和定義
下列術(shù)語和定義適用于本文件,。
濕電子化學(xué)品 wet chemicals
濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品,是微電子,、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕,、清洗、顯影,、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料,。
光阻洗凈液 Light blocking cleaning solution
光阻去除液、清洗劑,,主要成分丙二醇甲醚(PM)和丙二醇甲醚醋酸酯(PMA),。
回收液 Iiquid recycIing
主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯,以及少量其它有機溶劑,、光刻膠,、水、金屬離子等,。
技術(shù)要求
產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求,。
試驗方法
水分的測定
按 GB/T 6283 的規(guī)定進(jìn)行測定。
GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)
京都電子KEM 卡爾費休水分測定儀 MKV-710S
相關(guān)產(chǎn)品
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