無線晶圓測溫系統(tǒng)是一種半導體制造設備,，它通過自主研發(fā)的核心技術將傳感器嵌入晶圓集成,，從而實時監(jiān)控和記錄晶圓在制程過程中的溫度變化數(shù)據(jù),。該系統(tǒng)為半導體制造過程提供了一種高效可靠的方式來監(jiān)測和優(yōu)化關鍵的工藝參數(shù),。

無線晶圓測溫系統(tǒng)的核心優(yōu)勢包括：

一,、無線測溫采集

系統(tǒng)采用無線傳輸方式,，實現(xiàn)測溫數(shù)據(jù)的無損采集,，避免了傳統(tǒng)有線測溫方式中因線路連接問題導致的信號干擾和誤差。

二,、實時測溫監(jiān)測

系統(tǒng)能夠實時監(jiān)測晶圓表面的溫度變化,，提供及時、準確的溫度數(shù)據(jù),，有助于工藝人員及時發(fā)現(xiàn)并處理制程中的異常情況,。

三、高精度測量

系統(tǒng)采用高精度溫度傳感器,，結合校準補償技術,，能夠實現(xiàn)對晶圓表面溫度的精確測量，滿足半導體制造過程中的高精度要求,。

四,、測溫數(shù)據(jù)分析能力

系統(tǒng)配備有專業(yè)的溫度分析軟件，能夠對采集到的溫度數(shù)據(jù)進行存儲,、分析和可視化處理,，幫助工藝人員深入了解制程中的溫度分布情況，為工藝優(yōu)化提供有力支持,。

五,、支持過程調整與驗證

系統(tǒng)支持對半導體制造過程中的溫度參數(shù)進行調整和驗證，以確保制程的穩(wěn)定性和可控性,，提高產(chǎn)品的質量和良率,。

六、全面熱分布區(qū)監(jiān)測

系統(tǒng)能夠全面監(jiān)測晶圓表面的熱分布區(qū)域,，幫助工藝人員了解制程中的熱點和冷點位置,，為優(yōu)化工藝參數(shù)提供重要參考。

無線晶圓測溫系統(tǒng)廣泛應用于半導體制造過程中的多個環(huán)節(jié),，如光刻,、刻蝕、化學氣相沉積（CVD）,、物理氣相沉積（PVD）,、離子注入、清洗,、化學機械拋光以及紫外光固化等,。在這些應用場景中，無線晶圓測溫系統(tǒng)能夠發(fā)揮重要作用,，為半導體制造過程的優(yōu)化和改進提供有力支持,。