手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
SELN - 001B：半導(dǎo)體精密制造的水平 “穩(wěn)壓器”
在半導(dǎo)體設(shè)備制造的精密世界里，毫厘之差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量的天壤之別,。二軸精密水平儀 SELN - 001B,，作為行業(yè)內(nèi)的測(cè)量與校準(zhǔn)利器,，正以其性能和無比的優(yōu)勢(shì),，為半導(dǎo)體制造企業(yè)帶來未有的革新,。
精準(zhǔn)測(cè)量,，奠定工藝基石
光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,，對(duì)工作臺(tái)和光路系統(tǒng)的水平精度要求近乎苛刻,。SELN - 001B 憑借其高達(dá) ±0.001deg 的驚人角度精度,，能精確校準(zhǔn)光刻機(jī)工作臺(tái)，確保晶圓與光刻鏡頭的距離分毫不差,，光刻圖案精度得以保障,。在光路系統(tǒng)中，對(duì)反射鏡和透鏡等光學(xué)元件的水平調(diào)整同樣得心應(yīng)手,，讓光刻光線精準(zhǔn)投射,，分辨率與均勻性雙雙提升，為制造高性能芯片筑牢根基,。
刻蝕機(jī)的反應(yīng)腔室與晶圓承載臺(tái)水平度,，直接關(guān)乎刻蝕效果。SELN - 001B 可快速探測(cè)反應(yīng)腔室的傾斜角度,，助力技術(shù)人員迅速調(diào)整至理想水平,，實(shí)現(xiàn)刻蝕氣體均勻分布，刻蝕均勻性和精度大幅提高,。對(duì)于晶圓承載臺(tái),，其雙軸同時(shí)調(diào)整功能高效便捷，有效避免刻蝕偏差,，產(chǎn)品良品率顯著躍升,。
鍍膜設(shè)備的真空腔室與蒸發(fā)源等部件的水平狀態(tài),，決定了鍍膜質(zhì)量,。SELN - 001B 輕松應(yīng)對(duì)真空腔室安裝調(diào)平，將安裝時(shí)間大幅縮短,，同時(shí)保障腔室水平度,，使鍍膜均勻性更上一層樓。精確調(diào)整蒸發(fā)源水平角度,，讓鍍膜均勻性偏差控制在極小范圍,，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)薄膜質(zhì)量的嚴(yán)苛需求。
創(chuàng)新設(shè)計(jì),，突破應(yīng)用難題
面對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部復(fù)雜緊湊的結(jié)構(gòu),，許多測(cè)量工具往往望而卻步。SELN - 001B 卻具優(yōu)勢(shì),，它能夠輕松完成上下間隔狹窄部位的水平觀測(cè),，無論是光刻機(jī)內(nèi)部的精密部件，還是刻蝕機(jī)緊湊的反應(yīng)腔室,，都能精準(zhǔn)測(cè)量,，突破傳統(tǒng)測(cè)量局限。
其操作極為直觀,，技術(shù)人員可如同觀看氣泡式水平儀一般,，依據(jù)監(jiān)視器畫面進(jìn)行調(diào)整,，即便是初學(xué)者，借助設(shè)備的合格角度范圍設(shè)置功能,，也能迅速上手,，輕松實(shí)現(xiàn)水平調(diào)整。這一特性不僅統(tǒng)一了操作人員的標(biāo)準(zhǔn),，減少人為誤差,，還大大縮短了調(diào)整作業(yè)工時(shí)，顯著提升工作效率,。
實(shí)際案例,，見證成效
在某半導(dǎo)體制造企業(yè)，引進(jìn)新刻蝕機(jī)時(shí),，SELN - 001B 大顯身手,。快速校準(zhǔn)反應(yīng)腔室水平,，使產(chǎn)品良品率從 85% 飆升至 92%,。調(diào)整晶圓承載臺(tái)水平后，刻蝕不均勻問題得到有效解決,，生產(chǎn)成本大幅降低,。
另一家半導(dǎo)體工廠在鍍膜設(shè)備維護(hù)與升級(jí)中，借助 SELN - 001B,，將真空腔室安裝時(shí)間從兩天縮短至一天,，鍍膜均勻性顯著改善。蒸發(fā)源升級(jí)改造后,，利用該設(shè)備精確調(diào)整水平角度,，鍍膜均勻性偏差從 ±10% 降至 ±5% 以內(nèi)。
專注先進(jìn)制程芯片制造的企業(yè),，依靠 SELN - 001B 定期檢測(cè)光刻機(jī)工作臺(tái)與光路系統(tǒng),，確保光刻圖案套刻精度達(dá)到納米級(jí)，為生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片提供堅(jiān)實(shí)保障,。
二軸精密水平儀 SELN - 001B,，以精準(zhǔn)的測(cè)量、創(chuàng)新的設(shè)計(jì)和實(shí)際應(yīng)用效果,，成為半導(dǎo)體設(shè)備制造企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量,、提高生產(chǎn)效率、降低成本的選擇,。選擇 SELN - 001B,，就是選擇半導(dǎo)體制造的未來。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體,、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任,。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。
采購(gòu)中心