帶你了解無(wú)限遠(yuǎn)校正顯微物鏡,,光學(xué)顯微鏡簡(jiǎn)介 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
光學(xué)顯微鏡是是人們用以觀察微小物體和認(rèn)識(shí)微觀世界的重要手段和工具,也是人們從事光學(xué)精密測(cè)量,、分析微觀組織、觀察細(xì)微結(jié)構(gòu),、開(kāi)展微型工藝等的科學(xué)儀器,。簡(jiǎn)單的光學(xué)顯微鏡包含一個(gè)用來(lái)放大樣品的成像系統(tǒng)和一個(gè)照射樣品的照明系統(tǒng),。但大多數(shù)光學(xué)顯微鏡都要更復(fù)雜,,在顯微鏡內(nèi)部和其物鏡目鏡里,,還包含了很多嚴(yán)格控制尺寸大小的高精度鏡頭。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖1 顯微鏡光路示意圖 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
在使用顯微鏡時(shí),,我們總是希望能得到清晰明亮的圖像,,這就需要顯微鏡的各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù)達(dá)到一定的標(biāo)準(zhǔn),并且要求在使用時(shí),,必須根據(jù)實(shí)際情況來(lái)協(xié)調(diào)各參數(shù)的關(guān)系,。只有這樣,才能充分發(fā)揮顯微鏡應(yīng)有的性能,,得到滿意的顯微成像效果,。 顯微物鏡是顯微成像系統(tǒng)的重要組成部分,它很大程度上決定了顯微鏡的放大倍數(shù)和分辨率,,顯微鏡和顯微物鏡主要有以下光學(xué)技術(shù)參數(shù): | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
放大倍率 顯微鏡整體系統(tǒng)的放大倍率為目鏡和物鏡的放大倍率的乘積,,放大倍率通常是以一個(gè)數(shù)值和“x”表示,,如10x、20x,、50x等; | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
數(shù)值孔徑NA 數(shù)值孔徑是顯微物鏡最主要的技術(shù)參數(shù),,它是一個(gè)無(wú)量綱量,,用來(lái)衡量物鏡接收角的范圍,用以衡量該系統(tǒng)能夠收集的光的角度范圍,。數(shù)值孔徑NA是透鏡與物體之間介質(zhì)的折射率n和半孔徑角θ的正弦之乘積,,即 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
NA = n × sinθ | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖2 顯微物鏡孔徑示意圖 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
分辨率 顯微鏡的分辨率是指能被顯微鏡清晰區(qū)分的兩個(gè)物點(diǎn)的最小間距,計(jì)算公式為 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
σ = λ / NA | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
其中σ為最小分辨距離,,λ為光線的波長(zhǎng),,NA為物鏡的數(shù)值孔徑。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
工作距離 物鏡的工作距離指物鏡底面到樣品表面的距離,。在物鏡數(shù)值孔徑一定的情況下,,工作距離短則孔徑角大。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
物鏡的基本類型 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
顯微物鏡是光學(xué)顯微鏡最關(guān)鍵的零件,,也是最難設(shè)計(jì)和裝配的零件,,物鏡是由一系列透鏡組裝而成,物鏡的成像質(zhì)量直接決定了顯微鏡系統(tǒng)的性能,。在選擇合適的物鏡時(shí),,除了放大倍率、數(shù)值孔徑等上述提到的技術(shù)指標(biāo)外,,了解正確的像差校正也是極為重要的,。 顯微物鏡按照像差校正情況不同可以分為消色差物鏡、復(fù)消色差物鏡,、平場(chǎng)消色差物鏡,、平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡等。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
它是實(shí)驗(yàn)室常用的物鏡,,外殼上常有“Ach”字樣,,它針對(duì)藍(lán)光(486nm)和紅光(656nm)兩種波長(zhǎng)進(jìn)行色差校正,同時(shí)對(duì)546nm波長(zhǎng)的光進(jìn)行球差校正,。消色差透鏡是單色光應(yīng)用的選擇,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
復(fù)消色差物鏡外殼上標(biāo)有“Apo”字樣,要求能夠在三種波長(zhǎng)區(qū)域(紅色,、藍(lán)色和黃色)中校正色差,。此外,它們也能夠提供二到三種波長(zhǎng)的球差校正,,而且通常具有較高的數(shù)值孔徑和較長(zhǎng)的工作距離,,因此光學(xué)結(jié)構(gòu)更為復(fù)雜,,且通常需要采用特種玻璃或螢石等材料制作。復(fù)消色差物鏡非常適合用于白光應(yīng)用中,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
消色差/復(fù)消色差物鏡一般在大放大倍率時(shí),,會(huì)出現(xiàn)場(chǎng)曲問(wèn)題,即像場(chǎng)不再是平面而是發(fā)生彎曲,,平場(chǎng)物鏡即在物鏡設(shè)計(jì)時(shí)通過(guò)對(duì)場(chǎng)曲進(jìn)行校正,,提高邊緣視場(chǎng)像差,使得曲面場(chǎng)變成平面,。平場(chǎng)物鏡外殼上標(biāo)有“Plan”字樣,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限遠(yuǎn)共軛、有限遠(yuǎn)共軛指的是顯微物鏡的物面與像面這兩個(gè)共軛面而言的,。 如圖3a所示,,有限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡,從樣品散射的光被物鏡匯聚到一點(diǎn),,然后通過(guò)目鏡成像,; 而無(wú)限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡,如圖3b所示,,離開(kāi)物鏡后孔徑的光線會(huì)被準(zhǔn)直,,在成像應(yīng)用中需要一個(gè)鏡筒透鏡將物鏡準(zhǔn)直后的光聚焦在傳感器上。無(wú)限遠(yuǎn)共軛顯微物鏡外殼上標(biāo)有“∞”字樣,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖3 a有限遠(yuǎn)共軛物鏡 b無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡與有限遠(yuǎn)共軛物鏡相比,,優(yōu)勢(shì)在于,可以在無(wú)限遠(yuǎn)共軛物鏡和鏡筒透鏡之間插入偏振片,、濾波片等,,而無(wú)需改變光束傳播方向。 物鏡鏡筒上印有大部分物鏡的規(guī)格,,用戶在使用時(shí)可以輕松辨別,,以聯(lián)合光科推出的無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡為例,了解下標(biāo)識(shí)所代表的含義,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖4 典型顯微物鏡規(guī)格標(biāo)識(shí) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡應(yīng)用 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡代表當(dāng)今顯微鏡生產(chǎn)高水平,,在半導(dǎo)體、電子,、冶金等行業(yè)中得到越來(lái)越廣泛的使用,,其憑借優(yōu)異的成像質(zhì)量,超長(zhǎng)的工作距離,,大數(shù)值孔徑等特點(diǎn),,廣泛應(yīng)用于激光微納加工、激光微束系統(tǒng),、亮場(chǎng)工業(yè)檢測(cè)等多種場(chǎng)合,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
激光微束操作系統(tǒng)可以在基因工程中實(shí)現(xiàn)非接觸細(xì)胞操作,,系統(tǒng)中“光鑷”和“光刀”則依靠高質(zhì)量的顯微物鏡實(shí)現(xiàn)。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖5 在激光微束操作系統(tǒng)中的應(yīng)用 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
飛秒激光微納加工中的應(yīng)用 飛秒激光微納加工往往是在極小的空間,、極短的時(shí)間和特別的物理?xiàng)l件下對(duì)物質(zhì)進(jìn)行加工的,,使用無(wú)限共軛長(zhǎng)工作距離、復(fù)消色差設(shè)計(jì)的顯微物鏡可以將激光束聚焦到接近衍射極限,,從而獲得很高的能量密度,,使脈沖中心很小的區(qū)域的能力超過(guò)燒蝕閾值,實(shí)現(xiàn)比焦點(diǎn)還小的特征結(jié)構(gòu),。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖6 在飛秒激光微納加工中的應(yīng)用 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限共軛長(zhǎng)工作距離顯微物鏡在工業(yè)微觀形貌檢測(cè)上也有廣泛應(yīng)用,圖7是在共聚焦顯原理的輪廓儀中的應(yīng)用,,可以實(shí)現(xiàn)3D形貌的檢測(cè)和關(guān)鍵尺寸的測(cè)量,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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圖7 在工業(yè)微觀形貌檢測(cè)中的應(yīng)用 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡產(chǎn)品簡(jiǎn)介 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
聯(lián)合光科技(北京)有限公司推出的2X、5X,、10X,、20X、50X,、100X的長(zhǎng)工作距離顯微物鏡,,其光譜波長(zhǎng)范圍是400-700nm,該物鏡采用平場(chǎng)復(fù)消色差設(shè)計(jì),,其可對(duì)紅光,、藍(lán)光和黃光進(jìn)行校正,具有工作距離長(zhǎng),、數(shù)值孔徑大等特點(diǎn),,這些物鏡被廣泛應(yīng)用到亮場(chǎng)工業(yè)檢測(cè)、教育科研等領(lǐng)域,。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
聯(lián)合光科無(wú)限遠(yuǎn)校正長(zhǎng)工作距離顯微物鏡 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||
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相關(guān)產(chǎn)品
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