晶圓烘箱的應(yīng)用

來源：愛義信工業(yè)科技（上海）有限責(zé)任公司 2025年03月04日 09:03

晶圓烘箱用于晶圓、半導(dǎo)體制造中硅片,、砷化鎵,、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤,、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD,、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥,、熱處理,、老化等其他高溫試驗,。

　　工作原理主要基于熱對流方式。在烘箱內(nèi)部,，通過電熱器等產(chǎn)生熱風(fēng),，使熱風(fēng)循環(huán)流動，從而對待烘干的半導(dǎo)體材料進(jìn)行均勻地加熱和干燥,。這種加熱方式特別適合處理較厚的半導(dǎo)體材料,，并能達(dá)到較好的烘干效果。

　　晶圓烘箱通常具有多種特性,，例如密封性能好,、置物架設(shè)計方便、控溫靈敏準(zhǔn)確等,。在半導(dǎo)體制造過程中起到了保證晶圓干燥度和表面純凈度的重要作用,，是確保半導(dǎo)體器件質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。

　　本公司提供的晶圓烘箱采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊,，控溫精度0.1級,，自動恒溫，智能PID演算,，帶30段程序升溫,，帶傳感器斷線警報，AT自整定,，超溫控制,，斷電記憶功能，控溫準(zhǔn),，穩(wěn)定性好,。

相關(guān)產(chǎn)品

凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé),，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。

聯(lián)系我們