在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,，純水是“生命線”，其質(zhì)量直接關(guān)系到芯片的性能和良率,。除了對(duì)水中離子,、顆粒物的嚴(yán)格控制外，溶解氣體和靜電問(wèn)題也是影響生產(chǎn)的關(guān)鍵因素,。在芯片生產(chǎn)制造過(guò)程中,，靜電會(huì)損傷產(chǎn)品，造成產(chǎn)品缺陷,。因此,，如何有效防止靜電產(chǎn)生，成為半導(dǎo)體超純水工藝亟待解決的難題,。

傳統(tǒng)方法中,，直接噴淋純水和循環(huán)沖洗雖能在一定程度上消除靜電，卻存在諸多弊端,。其電阻率易受溫度,、濕度以及設(shè)備老化等因素影響，穩(wěn)定性差,，導(dǎo)致靜電防護(hù)效果時(shí)好時(shí)壞,，增加了產(chǎn)品因靜電損壞的風(fēng)險(xiǎn)。維護(hù)成本也相當(dāng)高昂,，定期的水質(zhì)檢測(cè)需采購(gòu)昂貴的設(shè)備和試劑,，過(guò)濾設(shè)備、離子交換樹(shù)脂等耗材的更換頻繁,，人工成本也不容小覷,，給企業(yè)帶來(lái)沉重負(fù)擔(dān)。而且,，它對(duì)環(huán)境要求苛刻,，生產(chǎn)車(chē)間需嚴(yán)格控制潔凈度，純水儲(chǔ)存和輸送需特殊容器和管道,，限制了應(yīng)用場(chǎng)景,。此外，一旦出現(xiàn)靜電突發(fā)狀況,，由于純水制備和循環(huán)耗時(shí),，應(yīng)急響應(yīng)能力不足，難以在關(guān)鍵時(shí)刻保護(hù)產(chǎn)品和設(shè)備。

在半導(dǎo)體純水防靜電領(lǐng)域,，采用新型無(wú)氣泡的膜加氣技術(shù),。讓高純度二氧化碳均勻溶解到超純水中。二氧化碳溶解于純水中,，會(huì)形成碳酸根離子,，使得水箱中純水的電阻率大幅度降低，防止在半導(dǎo)體材料劃片制程,、清洗過(guò)程中產(chǎn)生靜電損傷產(chǎn)品,，消除切割微粒的靜電吸附便于清洗。產(chǎn)品清洗烘干后,，二氧化碳會(huì)揮發(fā)不殘留任何雜質(zhì),，不造成污染。

無(wú)氣泡膜加氣技術(shù)所用的膜是一種疏水性膜,。膜的一側(cè)為二氧化碳,，另外一側(cè)走水。二氧化碳可以自由穿過(guò)膜而均勻溶解到水里,，水側(cè)的水及離子不能透過(guò)膜,，通過(guò)精密調(diào)節(jié)控制二氧化碳的量，可以實(shí)現(xiàn)精確控制水側(cè)二氧化碳的濃度,，從而精確調(diào)節(jié)超純水的電阻率,。

加氣膜在半導(dǎo)體純水防靜電方面發(fā)揮了顯著作用：

無(wú)二次污染：采用高純二氧化碳?xì)怏w作為降低電阻的物質(zhì)引入超純水中，烘干后二氧化碳可以揮發(fā),，不殘留任何雜質(zhì),。不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成二次污染。

精準(zhǔn)控制：通過(guò)加氣膜組件可以快速,、穩(wěn)定,、精確地控制二氧化碳溶解量，節(jié)省二氧化碳消耗,，滿(mǎn)足用水電阻要求,。

使用壽命長(zhǎng)：加氣膜性能穩(wěn)定，具有很長(zhǎng)的使用壽命,，減少了設(shè)備故障和停機(jī)時(shí)間,，降低了維護(hù)成本，為半導(dǎo)體制造提供了有力保障,。

國(guó)初科技（廈門(mén)）有限公司自成立以來(lái),，以膜分離技術(shù)為核心，致力于新型分離技術(shù)推廣,，不斷探索新型膜分離技術(shù)在生物制藥,、微電子,、冶金、化工,、機(jī)械,、食品、乳品,、飲料、環(huán)境等領(lǐng)域的新應(yīng)用,，根據(jù)不同客戶(hù)的高度差異化需求,，提供針對(duì)性的過(guò)濾及純化綜合解決方案，提高產(chǎn)品的品質(zhì),，滿(mǎn)足客戶(hù)的需求,。