高壓加速老化試驗箱測試半導(dǎo)體器件可靠性方法

一,、前言：

在半導(dǎo)體器件的研發(fā)與生產(chǎn)過程中,，確保其性能的可靠性和穩(wěn)定性至關(guān)重要,。高壓加速老化試驗箱能夠模擬各種惡劣環(huán)境條件，通過對半導(dǎo)體器件施加高電壓和高溫等應(yīng)力,，快速暴露潛在的缺陷和故障,，大大縮短了產(chǎn)品可靠性驗證的時間。

二,、測試流程：

樣品準備：選擇一定數(shù)量且型號規(guī)格相同的半導(dǎo)體器件作為測試樣品,，確保樣品外觀無明顯損傷、引腳無變形等,。對每個樣品進行編號,，記錄初始參數(shù)，如正向?qū)妷?、反向漏電流等?/span>

試驗箱設(shè)置：根據(jù)半導(dǎo)體器件的特性和測試要求，設(shè)置高壓加速老化試驗箱的參數(shù),。包括設(shè)定老化電壓,，一般為器件額定電壓的 1.5 - 2 倍；老化溫度,，通常在 100 - 150℃之間,；老化時間，可根據(jù)實際情況設(shè)定為 24 小時,、48 小時或更長,。

樣品安裝：將編號后的半導(dǎo)體器件小心安裝在試驗箱的樣品架上，確保器件引腳與測試夾具連接牢固,，避免虛接影響測試結(jié)果,。

測試過程：啟動試驗箱，開始老化測試,。在老化過程中,，每隔一定時間（如 1 小時）對樣品進行一次參數(shù)測量，記錄正向?qū)妷?、反向漏電流,、結(jié)溫等參數(shù)變化。若發(fā)現(xiàn)某個樣品參數(shù)超出正常范圍,，應(yīng)立即標記并記錄相關(guān)情況,。

測試結(jié)束：達到設(shè)定的老化時間后，關(guān)閉試驗箱,，待溫度降至室溫后,，取出樣品。再次對所有樣品進行全面參數(shù)測量,，并與初始參數(shù)進行對比分析,，評估器件的老化性能,。

測試數(shù)據(jù)參考：