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Aigtek高壓放大器在靜電懸浮關(guān)鍵技術(shù)中的應(yīng)用

來源:西安安泰電子科技有限公司   2025年02月20日 11:31  

  實驗名稱:靜電懸浮位置檢測與控制技術(shù)

  測試目的:根據(jù)Earnshaw定理,,靜電場不存在最小三維靜電勢,所以要實現(xiàn)樣品的穩(wěn)定必須結(jié)合負(fù)反饋控制系統(tǒng),。要進(jìn)行材料特性研究,還需要對材料樣品進(jìn)行加熱與測溫,,因此還需配備加熱和測溫設(shè)備,。所以,下文對靜電懸浮實驗裝置中位置檢測與控制,、加熱與溫度檢測技術(shù)進(jìn)行介紹,。

  測試設(shè)備:高壓放大器、位置控制器,、探測器等,。

  實驗過程:


靜電懸浮位置檢測與控制結(jié)構(gòu)圖


  圖1:靜電懸浮位置檢測與控制結(jié)構(gòu)圖

  靜電懸浮位置檢測與控制結(jié)構(gòu)如圖1所示。系統(tǒng)包括位置檢測單元,、處理控制單元,、高壓放大器及電極結(jié)構(gòu)。位置檢測單元使用PSD作為傳感器,,獲得懸浮樣品的位置信號,。處理控制單元對測量到的位置信號進(jìn)行濾波處理并根據(jù)處理后的位置信號進(jìn)行PID控制運算,將輸出的控制信號傳給高壓放大器,,高壓放大器根據(jù)輸入的信號控制輸出高壓,,輸出的高壓加載到電極板上下電極,通過改變帶電樣品所受到的電場力調(diào)整懸浮樣品的運動,,實現(xiàn)對懸浮樣品的懸浮控制,。

  位置檢測單元采用陰影法實現(xiàn)懸浮樣品的位置測量,使用能量均勻的平行光照射到整個PSD的感光面上,,若被測物體在PSD的前方,,那么被測物體的陰影就會留在PSD上。如果光斑能量分布均勻,,那么光斑重心位置同陰影位置線性相關(guān),,對PSD的測量信號進(jìn)行反向放大即可得到懸浮小球的位置信息,。要獲得懸浮樣品的三維位置信息,需要兩片PSD平行z軸擺放并相互垂直,。如圖2所示,,其中一片PSD檢測懸浮材料的(x,z)坐標(biāo),,另一片檢測懸浮材料的(y,,z)坐標(biāo),當(dāng)兩片PSD同時檢測時即可獲得懸浮材料的(x,,y,,z)坐標(biāo)。


位置檢測結(jié)構(gòu)示意圖


  圖2:位置檢測結(jié)構(gòu)示意圖

  實驗結(jié)果:

  重點分析介紹了靜電懸浮實驗裝置中懸浮樣品位置檢測與控制技術(shù),,靜電懸浮實驗樣品的位置檢測與控制是懸浮實驗的關(guān)鍵,,實驗裝置中使用位置敏感探測器(PSD)進(jìn)行樣品位置的測量,使用PID控制算法對加載到電極板上的高壓進(jìn)行調(diào)節(jié)實現(xiàn)實驗樣品的穩(wěn)定懸??;根據(jù)懸浮材料實驗情況及空間實驗情況介紹了使用PSD進(jìn)行位置測量時存在的缺陷,并提出了使用CCD進(jìn)行樣品位置測量的方法,。

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  圖:ATA-7050高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

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