當(dāng)測試并不是大批量同類樣品,，可以不在APP里設(shè)置通用的數(shù)據(jù)處理規(guī)則,，而是通過使用Data Collector軟件中的General batch程序來做一個單線的、特殊的自動處理,。

可能有不少使用馬爾文帕納科衍射儀的小伙伴們已經(jīng)體驗過General batch批處理程序的方便性,。在Data Collector軟件中，我們可以點擊工具欄最左側(cè)的新建程序快捷按鈕,，在打開的New Program對話框的Program type下拉列表里選擇General batch程序類型,，并在Configuration下拉列表中設(shè)置這個批處理要在哪個樣品臺配置下使用，然后點擊OK按鈕,，便新建了一個空白的General batch批處理程序,。

圖1：新建General batch批處理程序

General batch批處理程序的形式是一個列表，每一行都代表一個步驟,。我們可以通過左下角Insert program item框中的四個按鈕往程序中添加不同類型的步驟（注：都會添加到列表中所選中行前面）：

① Insert Measurement Program：插入一個已有的掃描程序,，進(jìn)行一個樣品掃描的動作；

②Insert Batch Settings：插入給儀器的一個指令,，可進(jìn)行移動到某個位置,、調(diào)整光管功率、校正位置等動作,；

③ Insert Timer Settings：插入一個延時定時指令,；

④ Insert Command line：插入一句命令行,，可以調(diào)用其它軟件或腳本來執(zhí)行某些操作。（注：這個按鈕是在Data Collector 5.4版本時才新加的,。）

使用General batch批處理程序進(jìn)行數(shù)據(jù)自動處理的關(guān)鍵就在④號按鈕,。點擊該按鈕后，所打開的對話框如下：

圖2：插入命令行對話框

在本系列文章的第（一）篇中,，我們介紹過APP軟件處理規(guī)則里Command和Arguments兩項的設(shè)置,，而圖2對話框中的設(shè)置與之類同：

① Command line：等同于APP規(guī)則中的Command項；

② Parameters：等同于APP規(guī)則中的Arguments項,，也支持用代碼 %XRDMLFILE% 指代最近剛測試得到的數(shù)據(jù)文件的路徑和文件名

③ 選擇什么時候進(jìn)行下一步驟：

• Wait until ready：等待到調(diào)用的軟件/腳本處理完數(shù)據(jù)后,；

• Continue immediately：不等待，直接進(jìn)行下一步驟,；讓軟件/腳本并行去處理數(shù)據(jù),；

• Continue after：等待一定時間段后；

但圖1中的①,、②號按鈕也很重要,，特別是對于一些較為復(fù)雜的測試，如薄膜反射率,、外延薄膜搖擺曲線等測試,，在測量最終的曲線之前，要對樣品進(jìn)行一系列的優(yōu)化操作,，以讓光路與所測晶面（或平面）之間的位置達(dá)到理想的狀態(tài),，而通過這兩個按鈕可以將相關(guān)的操作加入到批處理程序中，再加上圖1中④號按鈕,，最終可以將測試過程中的定位,、校光、優(yōu)化,、測試,、分析等一整個流程中的每一個步驟按次序打包到一起構(gòu)成一個自動化量測分析的程序（Recipe）。

如下圖,，以薄膜樣品的反射率測試為例：

圖3：反射率測試批處理程序

這個程序中共有十幾個步驟：

1. 各角度,、位置歸零；

2. 找到直射光所在2Theta角度,；

3. 將直射光2Theta角度位置校正為0點,，并移動Z軸到樣品表面基準(zhǔn)位置附近；

4. 調(diào)整Z軸找到樣品擋住直射光一半強(qiáng)度的位置,；

5. 調(diào)整Omega（入射角）角度找到直射光與樣品表面平行的位置,；

6. 將光與表面平行的Omega角度位置校正為0（入射角為0）；

7. 再次調(diào)整Z軸找到樣品（表面已與光平行）擋住直射光一半強(qiáng)度的位置,；

8. 移動2Theta（入射角與出射角之和）和Omega角度到全反射臨界角附近,；

9. 2Theta角不變,，調(diào)整Omega角度找到探測器能接收到反射信號的位置；

10. 調(diào)整傾斜角（Chi角）,；

11. 再次調(diào)整Omega角度找到探測器能接收到反射信號的位置,；

12. 校正上述Omega角度為2Theta角的一半（入射角=出射角）；

13. 反射率測試并保存數(shù)據(jù)文件,；

14. 調(diào)用AMASS軟件使用模板對反射率數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合,，并保存擬合項目文件及輸出一個XML格式的擬合結(jié)果文件,；

通過這個批處理程序,，在將樣品放置到樣品臺上后，便可以執(zhí)行這個批處理程序,，完成一系列動作,，最后得到測量數(shù)據(jù)和擬合分析結(jié)果。