【小王子上新】UPC系列UPC-4CW2-C150H

來源：深圳市京都玉崎電子有限公司 2025年02月17日 19:14

應(yīng)用
任何壓力都可以通過電信號(hào)設(shè)定,。
當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量連接到一條管線時(shí),，壓力會(huì)被調(diào)整,，以使氣體流量的快速波動(dòng)不會(huì)影響其他質(zhì)量流量,。
可用作晶圓背面冷卻的控制器,。
用于下游壓力控制,。

特征

規(guī)格

模型	UPC （下游壓力控制器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓力范圍	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控制壓力范圍	1 到 100%	1 至 100% *1
控制閥CV值	-	L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng) （自動(dòng)調(diào)零后）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS,，20 至 100%：±0.5% SP]
供氣壓力范圍	0 至 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐壓性	200kPaG	1MPaG
外部泄漏	＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec
使用溫度范圍	0～50℃（系統(tǒng)保證溫度范圍：15～35℃）*2
電源電壓,、電流消耗	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC,，4.0W
壓力設(shè)定/輸出信號(hào)	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料	SUS316L,，鎳鈷合金	SUS316L，鎳鈷合金,，F(xiàn)S9
連接配件/尺寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)

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