易度質(zhì)量流量控制器及流量計(jì)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
在半導(dǎo)體行業(yè)中,對(duì)質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高,,以滿(mǎn)足精密制造的要求,。
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)的性能和參數(shù)需求
高精度:
半導(dǎo)體工藝對(duì)氣體流量控制要求很高,,通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。
小流量測(cè)量能力(如sccm,標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘)是關(guān)鍵,尤其是在沉積,、刻蝕等工藝中。
快速響應(yīng)時(shí)間:
工藝氣體流量需要快速調(diào)整,,響應(yīng)時(shí)間通常在毫秒級(jí)別,,以確保工藝穩(wěn)定性。
寬量程比:
半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍,,質(zhì)量流量計(jì)需要具備寬量程比(如100:1或更高),,以適應(yīng)不同工藝需求。
多氣體兼容性:
半導(dǎo)體制造中使用多種氣體(如惰性氣體,、腐蝕性氣體等),,質(zhì)量流量計(jì)需支持多氣體校準(zhǔn)和測(cè)量。
穩(wěn)定性和重復(fù)性:
長(zhǎng)期穩(wěn)定性高,,重復(fù)性好,,確保工藝一致性,減少設(shè)備校準(zhǔn)頻率,。
耐腐蝕性:
半導(dǎo)體工藝中常使用腐蝕性氣體(如Cl?,、HF等),流量計(jì)材料需具備高耐腐蝕性(如不銹鋼,、哈氏合金等)。
低壓力損失:
低壓力損失設(shè)計(jì)可減少對(duì)工藝系統(tǒng)的干擾,,降低能耗,。
清潔度和顆粒控制:
流量計(jì)內(nèi)部設(shè)計(jì)需避免顆粒產(chǎn)生,,確保高潔凈度,,防止污染晶圓。
溫度和環(huán)境適應(yīng)性:
能夠在寬溫度范圍和惡劣環(huán)境下穩(wěn)定工作,。
易度層流質(zhì)量流量計(jì)的具體優(yōu)勢(shì)
高精度小流量測(cè)量:
層流設(shè)計(jì)特別適合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)小流量(如sccm級(jí)別)的高精度需求,。
低壓損設(shè)計(jì):
減少對(duì)工藝系統(tǒng)的干擾,降低能耗,,適合長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,。
快速響應(yīng):
引壓孔兩端的壓力壓差以聲波速度傳輸,響應(yīng)時(shí)間可達(dá)1ms
高潔凈度:
無(wú)活動(dòng)部件,,減少顆粒產(chǎn)生,滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求,。
耐腐蝕性強(qiáng):
接氣部采用高耐腐蝕材料以及耐腐蝕傳感器,,適合腐蝕性氣體環(huán)境。
長(zhǎng)期穩(wěn)定性:
無(wú)活動(dòng)部件設(shè)計(jì),,減少磨損,,長(zhǎng)期穩(wěn)定性更高,降低維護(hù)成本,。
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)質(zhì)量流量計(jì)的要求很高,,易度層流質(zhì)量流量計(jì)憑借其高精度、低壓損,、快速響應(yīng)和高潔凈度等優(yōu)勢(shì),,在半導(dǎo)體行業(yè)中表現(xiàn)出色,成為半導(dǎo)體制造中的理想選擇,。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其它方式使用上述作品,。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,,并注明“來(lái)源:化工儀器網(wǎng)”,。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任,。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源(非化工儀器網(wǎng))的作品,,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀(guān)點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),,不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任,。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源,,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)等問(wèn)題,,請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利,。