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目視檢查燈NP-5在圓晶生產(chǎn)中的運用
什么是硅晶圓,？ | |||||||||
| 是半導(dǎo)體芯片的原材料,，以及稱為ingot的高硫化硅的原材料被處理成薄磁盤。為了在其上應(yīng)用超精細(xì)處理,，在鏡子上重復(fù)并完成拋光過程,，例如包裝和拋光,。您可以將其視為最平坦的事情,。至于確認(rèn)掉落的灰塵，可用于大學(xué)研究的4英寸喚醒（100φ）很便宜,，而且處理很容易,。過去，沒有目的是確認(rèn)灰塵,。 *它與用于粘合劑的硅酮不同,。 |  | ||||||||
| ☆過去，那些份額的粘合劑紙被用于相同的目的,。我從未直接比較可見性,，但我認(rèn)為大約兩位數(shù)變得更容易。 | |||||||||
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如何使用硅晶圓 | |||||||||
[在硅Waeha中檢查垃圾的程序]
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 用法的圖像 | |||||||||
[在每個過程中粘貼掉灰塵的量]例如,，假設(shè)您有以下生產(chǎn)線,。該過程A使用設(shè)備，然后運輸和存儲,，并正在處理手頭上工作的過程B,。以前,，在最終檢查過程中，在此行中發(fā)現(xiàn)了垃圾缺陷的發(fā)現(xiàn),，如果是NG,，將從過程中進(jìn)行修復(fù)。即使您采取垃圾措施,，如果您不知道垃圾將遵守該過程的位置,，則可以提高整個清潔室的清潔度，從而依靠粒子柜臺的價值或教育工人進(jìn)行教育清潔房間的舉止,。 在這種情況下,，對于諸如設(shè)備中的駕駛系統(tǒng)或存儲問題之類的情況，它幾乎無效,。 但是,，如果使用硅Waeha來收集灰塵的樣本，那么您在廢棄的時間內(nèi)增加了多少,？您可以轉(zhuǎn)換為單位區(qū)域并預(yù)測垃圾附件,。此外，由于可以在每個過程中單獨完成,，即使您采取措施,，也可以采取可以預(yù)期具有最小和最大效果的措施 。 此外,，硅晶片可以與清理一樣多次使用,，因此對于測量而言，它的成本很小,。 | |||||||||
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| [補充 - 質(zhì)量可視化] 該方法不能判斷為秋季和塵埃的大小和大尺寸的“定量”，因此它是“定性可視化”,。但是,，我們可以判斷其中有多少（接近），因此我們認(rèn)為它可以用作客觀標(biāo)準(zhǔn),。 | |||||||||
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在硅晶片中看起來像什么,？ | |||||||||
[硅晶圓粘合劑的外觀是什么樣的？這是給出的那么實際上是什么樣的,？右側(cè)的照片是一般環(huán)境中的硅晶圓盒,，它是用帶有滴和灰塵的攝像機(jī)閃光燈拍攝的。您根本看不到掉落的灰塵,。當(dāng)然,，您幾乎無法用正常的燈肉眼檢查垃圾。但是，接下來,，您會看到相同的晶圓被多元的光照射,，并且掉落的灰塵清楚地附著。目前,，訣竅是在低角度以低角度照射偏振光,，以免發(fā)生強反射。這樣,，只出現(xiàn)晶圓上的垃圾,。 這種方法的優(yōu)點之一是很容易拍照，但底部照片是上述照片的修剪,。如果有些像纖維一樣,，您可以清楚地檢查垃圾的形狀。在視覺確認(rèn)的情況下,，最小的確認(rèn)可以確認(rèn)為約10μm,。 |    | ||||||||
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觀察硅waeha的灰塵 | |||||||||
[觀察硅Waeha中的灰塵]接下來，讓我們嘗試根據(jù)周圍環(huán)境的掉落和灰塵的變化,。首先,，我們準(zhǔn)備了三個硅晶片,，暴露于1）沒有假期的辦公室,，2）戶外1F和3）30分鐘。右側(cè)的照片是收集和拍照的照片,。1）假日辦公室...它不受歡迎,，并且是最美麗的，因為它不受歡迎且沒有浮動的灰塵,。但是,，您會看到一些相對較大的且輕便的異物附著。 2）1F戶外...最大的粘合劑量暴露于交通面臨的位置,。大小有點小,，其中許多是灰塵。 3）室外14F：您可以看到該數(shù)字小于1F,。此處的目標(biāo)粒子是由于尺寸小而掉落得非常緩慢的粒子,。因此，它漂浮在空中一段時間,，但最終掉落,。因此，位置越高,，濃度越薄,，而另一個則傾向于更靠近表面。 |    | ||||||||
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轉(zhuǎn)移并觀察粘附灰塵 | |||||||||
[轉(zhuǎn)移并觀察粘合灰塵]以同樣的方式，您可以將灰塵從干凈的房間中的手套和雨雨等工具轉(zhuǎn)移到硅晶圓上并進(jìn)行檢查,。用干凈的雨刮器清理后,，照片是晶圓的頂部。如果垃圾簡單地放在硅晶片上,，則可以用干凈的刮水器 +工業(yè)酒精輕松將其除去,。換句話說，可以低成本使用回收利用,，因此您幾乎無法以這種方式關(guān)心運行成本,。 *由于干凈的長凳沒有用于拍攝，因此并非垃圾零,。 接下來,，讓我們用手套輕輕觸摸晶圓。目前,，我只是稍微觸摸了它,，而無需付出任何努力。 最后,，在晶圓上觀察到我的鐘燈,。觸摸后，您會看到垃圾連接到手指的形狀上,。 這樣,，您也可以從目標(biāo)中轉(zhuǎn)錄垃圾。 |    | ||||||||
| *在上面的實驗中,，去除層狀光的綠色過濾器進(jìn)行攝影,。在視覺確認(rèn)的情況下，似乎很容易看到它何時具有綠色過濾器,。 | |||||||||
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| 在這種情況下是有效的 | |||||||||
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硅晶圓晶圓盒 /專用鑷子 | |||||||||
| 北極光和最佳伴侶，硅瓦哈人是對下降和灰塵的有力確認(rèn),。易于-to -handle One -poce蓋,，帶有彈簧的盒子（由聚丙烯制成），也可以同時使用專用的鑷子,。 請從以下查詢表中使用,。 *銷售方法是一組4英寸的硅晶片，還有一件箱子,。請注意,，我們不出售25個盒式磁帶,。
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