原理

   基于石英諧振原理，以石英基膜作為感壓元件,，當(dāng)外界輸入壓力時(shí),，引起石英基膜發(fā)生應(yīng)變，導(dǎo)致與感壓膜剛性連接的石英振梁的諧振頻率發(fā)生變化,，從而實(shí)現(xiàn)壓力測(cè)量,。外配激振電路，即可將輸入的壓力轉(zhuǎn)換為頻率輸出,。

優(yōu)勢(shì)

1,、感壓模式：石英晶體感知壓力變化，溫漂系數(shù)小,，穩(wěn)定性高,，石英晶體本身決定的，它的彈性模量或者說(shuō)楊氏模量比硅的小一半,。所以,，對(duì)于硅材料來(lái)說(shuō)，石英材料本身存在一定的優(yōu)勢(shì),。

2,、材料：石英諧振芯體相對(duì)陶瓷或者金屬的，體積更小,，穩(wěn)定性更強(qiáng),，技術(shù)含量更高。全石英結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),，上面采用了ack,，面板就是一個(gè)接口電路，把差動(dòng)電容的變化轉(zhuǎn)化成數(shù)字量 ,，還有一個(gè)溫度測(cè)量功能,，這樣客戶在使用時(shí)不用再設(shè)計(jì)微弱信號(hào)減弱，直接用單片機(jī)把數(shù)據(jù)讀取出來(lái),。

3,、工藝：基于石英QMEMS工藝，石英改良模及石英振梁的一體化加工,，這個(gè)技術(shù)有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),，在國(guó)內(nèi)也是批量生產(chǎn)化生產(chǎn)。

4,、創(chuàng)新方案：石英加工技術(shù)和傳感器微弱信號(hào)檢測(cè),、ic技術(shù),。

5、結(jié)構(gòu)：石英絕壓芯體（表頭/機(jī)械部件）：有三條梁組成,，中間這個(gè)是音差/感壓枕梁,，外面有壓力輸入會(huì)引起感壓枕梁的頻率變化，上面是基本枕梁（不受壓力變化影響,，但是會(huì)隨著溫度發(fā)生變化）,，下面是一個(gè)配重枕梁，基本枕梁和配重枕梁的差值就是感壓枕梁,，從而提高產(chǎn)品的精度,。

6、封裝材料：封裝的材料一半是316L,。

7,、輸出信號(hào)：壓力直接可轉(zhuǎn)成頻率信號(hào)，產(chǎn)品主要通過(guò)頻率的變化反應(yīng)壓力的變化,。

應(yīng)用領(lǐng)域：

氣壓高度表,、飛行器大氣數(shù)據(jù)系統(tǒng)、液位測(cè)量,、壓力變送器,、流量測(cè)量、工業(yè)控制,，能源行業(yè),，具體包括制藥行業(yè)、監(jiān)測(cè)油井和天然氣井,、海洋工程,、電蒸汽鍋爐過(guò)程測(cè)量等需要高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性,、溫度特性,、靜壓特性等領(lǐng)域。