擴(kuò)散硅,、陶瓷,、電容,、單晶硅壓力傳感器各有哪些區(qū)別,?
壓力傳感器是常用的一種傳感器,,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電,、鐵路交通,、智能建筑、生產(chǎn)自控,、航空航天,、石化、油井,、電力,、船舶、機(jī)床,、管道等眾多行業(yè),。
根據(jù)工作原理的不同,壓力傳感器可分為以下幾種:
單晶硅壓力傳感器:
高性能單晶硅壓力傳感器,,采用電磁激勵(lì)和電磁拾振方式工作,,輸出為頻率信號(hào),抗干擾能力強(qiáng),,穩(wěn)定性好,,不需A/D轉(zhuǎn)換,既能測(cè)量絕壓,,也能測(cè)量差壓,。
電容式壓力傳感器:
電容式變送器有一個(gè)可變電容的傳感組件,。該傳感器是一個(gè)封閉的組件過(guò)程壓力、差壓通過(guò)隔離膜片和灌充液硅油傳到傳感膜片引起位移,。傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成(4-20)mA的兩線制輸出的電信號(hào),。
擴(kuò)散硅壓力傳感器:
擴(kuò)散硅壓力傳感器是外加壓力通過(guò)不銹鋼膜片、內(nèi)部密封的硅油傳遞到敏感芯片上,,敏感芯片不直接接觸被測(cè)介質(zhì),。以其靈敏度輸出高,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,,測(cè)量精度高,,穩(wěn)定性好,易于小型化,,但易受溫度影響,,對(duì)于大于1kpa的均可測(cè)量是中檔傳感器的選擇。陶瓷是一種高彈性,、抗腐蝕,、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料,。
陶瓷壓力傳感器:
陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40~135℃,,而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性,。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號(hào)強(qiáng),,長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。具有優(yōu)良的線性精度,、遲滯性和可靠性,、性價(jià)比。原則上較高的量程也易于實(shí)現(xiàn),。這兩種傳感器都廣泛地應(yīng)用于航天,、航空、航海,、石油化工,、動(dòng)力機(jī)械,、生物醫(yī)學(xué)工程,、氣象、地質(zhì),、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域,。
另外,一般的壓力變送器(區(qū)別于差壓變送器)所用的傳感器常用的有:擴(kuò)散硅傳感器,,陶瓷壓阻傳感器,,陶瓷電容傳感器,,單晶硅傳感器等。
這種傳感器只能測(cè)表壓或者絕壓,,它們之間也是有各自的有缺點(diǎn),,在不同的場(chǎng)合使用的傳感器也是不同的,例如一般的小量程壓力變送器則需要用到陶瓷電容傳感器,,穩(wěn)定性和精度會(huì)比其他高一些;而一般的超大量程,,由于受生產(chǎn)工藝所限,通常是采用陶瓷壓阻的比較多;對(duì)于擴(kuò)散硅傳感器,,一般充油擴(kuò)散硅傳感器更適合做溫度補(bǔ)償?shù)燃夹g(shù)提升,,并且在穩(wěn)定性和過(guò)載能力方面也是比較出眾的。
在差壓傳感器中充硅油或者惰性氣體,,一般都是電容式傳感器,,當(dāng)然其他技術(shù)的傳感器也是要填充惰性液或者惰性氣體的,它所其到的作用是把壓力均勻的作用在感壓膜片上的,。
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