潔凈工作臺(tái)要求工作臺(tái)內(nèi)部呈正壓(工作臺(tái)內(nèi)部的壓力高于外界空氣的壓力),,以防止灰塵和空氣中微生物的污染,阻擋空氣從外向內(nèi)的流動(dòng),并使用HEPA過濾器,,其設(shè)計(jì)只允許經(jīng)過具有高性能除塵功能的過濾器凈化的空氣進(jìn)入內(nèi)部,。一般除塵效率在99%以上,。
潔凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)在JIS B9922中有詳細(xì)規(guī)定,。例如,除了墻壁不能剝落或生銹外,,主空氣過濾器必須是HEPA或ULPA,。另外,在處理酸,、有機(jī)或有毒氣體時(shí),,規(guī)定結(jié)構(gòu)必須能夠按zhiding路線排出空氣,除非有協(xié)議,否則不得同時(shí)打開照明燈和殺菌燈,。
性能方面,,額定風(fēng)速設(shè)定為0.3~0.6m/s,平均風(fēng)速為額定風(fēng)速的±20%,,潔凈度為1~8級(jí),。在這種情況下,可確定風(fēng)速由交貨方與交貨方協(xié)議,。
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