日本krosaki真空吸盤,、靜電吸盤的推薦
靜電吸盤
靜電吸盤用于在半導體制造的真空工藝中固定,、運輸和校直晶圓,。
我們的Johnsen-Rahbek型靜電吸盤因其的材料技術和加工技術而受到好評。
特征
出色的附著/分離響應能力
通過優(yōu)化材料結(jié)構，表現(xiàn)出極其優(yōu)異的附著/分離響應,。
這有助于顯著提高吞吐量。
優(yōu)異的平整度
我們的拋光技術可在整個表面上提供高精度的平整度,。
此外，還可實現(xiàn)優(yōu)異的表面粗糙度,，從而實現(xiàn)高吸附能力并減少顆粒量,。
高耐用性
由于電介質(zhì),、內(nèi)部電極和絕緣體作為一個整體進行燒制,，因此與使用粘合劑集成的靜電吸盤相比，它具有長期穩(wěn)定性,。
物性表
| 材料 |
| Al 2 O 3 (添加TiO 2 ) |
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| 比重 | - | 3.98 |
|---|
| 楊氏模量 | GPa | 400 |
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| 泊松比 | - | 0.24 |
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| 斷裂韌性值 | 兆帕·米1/2 | 4.6 |
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| 維氏硬度 | 98N,GPa | 14 |
|---|
| 相對介電常數(shù) | - | 10.7 |
|---|
*所列數(shù)據(jù)為典型值,，并非保證值。
產(chǎn)品數(shù)據(jù)（參考值）
*所列數(shù)據(jù)為典型值,，并非保證值,。
真空吸盤
利用多孔陶瓷特性的真空吸盤,。
多孔陶瓷是具有從內(nèi)部到表面連續(xù)連通的孔（連通孔）的陶瓷,，就像海綿一樣,。
還有各種其他名稱，如真空吸盤,、真空吸盤,、吸盤等，但通過在吸附表面上產(chǎn)生真空，將被吸附的物體保持在大氣壓力下并固定（吸盤））相同,。該原理適用于吸盤之類的東西,。
以前,，通過加工凹槽和孔來形成空氣通道來吸附空氣,，但薄膜等薄的吸附材料存在被吸入凹槽和孔中并變形等問題。另一方面,，多孔陶瓷具有遍布整個表面的微米級孔,，可以均勻地吸附被吸附材料而不使其變形。
我們的真空吸盤可以從材料到加工以一體化方式制造,，并且我們有多種選擇,。
多孔吸盤
利用多孔陶瓷的特性,，可以無偏壓地均勻吸附并固定整個物體（薄膜,、基板,、晶圓等）。
只要處于大氣壓下,，無論磁性還是非磁性,，都有可能吸引磁鐵。
適用于固定薄膜產(chǎn)品,，例如薄半導體器件,、固定 3D 內(nèi)存基板、固定薄膜/膠片以及倒裝芯片接合機的吸附臺,。
局部吸臺AH吸盤
該吸盤采用特殊材料多孔陶瓷（AH材料）,，可實現(xiàn)局部吸力,。
單臺可拾取8英寸、12英寸等不同尺寸的工件,。
普通的多孔吸盤必須覆蓋整個表面才能固定,，因為吸盤表面將因泄漏而不再是真空，但AH吸盤采用孔徑和孔隙率受控的材料,，可以防止從開放部分泄漏,。可以進行固定以抑制壓力并保持真空狀態(tài),。
它可用于多種用途,，例如用于干處理的抽吸臺和用于檢查不規(guī)則形狀物體的固定臺。
產(chǎn)品陣容/技術介紹
陣容
| 產(chǎn)品名稱 | 平均孔徑 [μm] | 孔隙率[%] |
|---|
| MP580 | 第580章 | 45～50 |
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| MP230 | 230 | 45～50 |
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| MP130 | 130 | 45～50 |
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| MP100 | 100 | 45～50 |
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| MP060 | 60 | 45～50 |
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| MP040 | 40 | 45～50 |
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| 電導率 | 二十五 | 15-18日 |
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| 啊 | 2 | 30～35 |
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*所列數(shù)據(jù)為典型值，并非保證值,。
?大型物品以及方形等不規(guī)則形狀的物品也可以處理,。
?我們還可以建議符合您的應用和要求的產(chǎn)品，例如內(nèi)置加熱器的產(chǎn)品,、使用導電材料或黑色底座（用于圖像識別）的產(chǎn)品,。
高精度多孔吸盤
《粘合面SEM照片》
?與將金屬（SUS或鋁）底座粘合到多孔陶瓷上的標準產(chǎn)品不同，我們使用輕質(zhì)（密度3.9g/cm 3）和高剛性的氧化鋁陶瓷作為底座,，使吸盤更易于使用,。提高各種尺寸精度,。
- φ300尺寸可適應3μm以下的平面平行度,。
?與金屬真空吸盤相比,，隨著時間和溫度的變化,，接合精度的穩(wěn)定性大大提高,。
- 特殊粘合解決了粘合界面出現(xiàn)間隙的問題,，不會因吸力或壓力而產(chǎn)生凹痕,。
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